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J-GLOBAL ID：202002268799096596   整理番号：20A1070520

O 1s閾値でのX線吸収分光法により明らかにされたNiO薄膜における陽イオン空孔の熱誘起枯渇【JST・京大機械翻訳】

Thermal induced depletion of cationic vacancies in NiO thin films evidenced by x-ray absorption spectroscopy at the O 1s threshold

著者 (5件)： Gutierrez Alejandro (Departamento de Fisica Aplicada and Instituto de Ciencia de Materiales Nicolas Cabrera, Universidad Autonoma de Madrid, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain) ,  Dominguez-Canizares Guillermo (Departamento de Fisica Aplicada and Instituto de Ciencia de Materiales Nicolas Cabrera, Universidad Autonoma de Madrid, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain) ,  Krause Stefan (Helmholtz-Zentrum Berlin fuer Materialien und Energie GmbH, Albert-Einstein-Strasse 15, 12489 Berlin, Germany) ,  Diaz-Fernandez Daniel (Departamento de Fisica Aplicada and Instituto de Ciencia de Materiales Nicolas Cabrera, Universidad Autonoma de Madrid, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain) ,  Soriano Leonardo (Departamento de Fisica Aplicada and Instituto de Ciencia de Materiales Nicolas Cabrera, Universidad Autonoma de Madrid, Cantoblanco, 28049 Madrid, Spain)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 38  号： 3  ページ： 033209-033209-7  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： p型半導体NiO薄膜におけるカチオン空孔の濃度に及ぼす熱アニーリングの影響を,O1s閾値におけるX線吸収分光法により研究した。この技術は,高酸化状態のNiイオンと関連した吸収閾値以下で観測されたプレピークの強度を通してNi空格子点の量に非常に敏感であることを証明した。種々の空格子点濃度を有するサンプルを,プラズマ中の種々のO_2/Ar比を有する無線周波数マグネトロンスパッタリングによって得た。薄膜成長時と後処理後の熱効果を調べた。両方の場合において,観察された効果は非常に類似しており,温度による陽イオン空孔の枯渇を示した。X線吸収分光測定の表面感度を変えることにより,化学量論的NiOへの転移が表面で始まることを見出した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プラズマ ,  *薄膜 ,  半導体 ,  *ニッケル ,  熱影響 ,  *X線吸収 ,  化学量論 ,  *カチオン ,  薄膜成長 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *X線吸収分光法
準シソーラス用語： 酸化状態 ,  無線周波数 ,  ニッケルイオン ,  熱アニーリング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： 閾値 ,  X線吸収分光法 ,  薄膜 ,  陽イオン ,  空孔 ,  誘起 ,  枯渇