文献

J-GLOBAL ID：202002269078876866   整理番号：20A1856990

Siナノワイヤを用いた微小熱電発電素子の高集積化にむけて

Toward Large-scale Integration of Micro Thermoelectric Generator Using Si-nanowire

著者 (1件)： 富田基裕 (早稲田大学)
資料名： 表面と真空  (Vacuum and Surface Science)
巻： 63  号： 5  ページ： 229-234(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： G0194B  ISSN： 2433-5835  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： Si-LSIプロセス技術に高い親和性を有するSiナノワイヤ(NW)熱電(TE)発電機の空洞のない平面デバイスアーキテクチャを提案した。この発電機では,外部温度差がキャビティのない基板の前面側と背面側の間に誘起される。したがって,ほとんどの誘起された熱エネルギーは基板に廃棄される。しかし,面内方向への拡散熱流はSiナノワイヤの温度差を維持する。浸出熱流束は,Si-NWsにおいて急な温度勾配を形成した。次に,10μW/cm²クラスの高出力を,TE発電機により発生させた。本論文では,新しいSi-NWベースTE発電機の設計概念を示した。試験装置の数値的および実験的実証をレビューした。TE発電機の構造を設計することによって大規模統合の可能性を論じた。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  発電機 ,  *熱電発電 ,  温度分布 ,  熱流束 ,  温度勾配 ,  試験装置 ,  LSI【IC】 ,  エネルギー
準シソーラス用語： *シリコンナノワイヤ ,  温度差 ,  熱エネルギー ,  熱電発電機

著者キーワード (8件)： シリコン ,  ナノワイヤ ,  熱電 ,  半導体 ,  シリコン ,  ナノワイヤ ,  熱電 ,  半導体

分類 (2件)： 熱電発電,熱電子発電  (NB03080V) ,  熱電デバイス  (NC03090J)

引用文献 (13件)：

• 1) M. Tomita, S. Oba, Y. Himeda, R. Yamato, K. Shima, T. Kumada, M. Xu, H. Takezawa, K. Mesaki, K. Tsuda, S. Hashimoto, T. Zhan, H. Zhang, Y. Kamakura, Y. Suzuki, H. Inokawa, H. Ikeda, T. Matsukawa, T. Matsuki and T. Watanabe : Symp. VLSI Technol. Dig. Tech. Papers (2018) p. 93.
• 2) M. Tomita, S. Oba, Y. Himeda, R. Yamato, K. Shima, T. Kumada, M. Xu, H. Takezawa, K. Mesaki, K. Tsuda, S. Hashimoto, T. Zhan, H. Zhang, Y. Kamakura, Y. Suzuki, H. Inokawa, H. Ikeda, T. Matsukawa, T. Matsuki and T. Watanabe : IEEE Trans. Electron Dev. 65, 5180 (2018).
• 3) K. Nair, J. Kulkarni, M. Warde, Z. Dave, V. Rawalgaonkar, G. Gore and J. Joshi : Proc. Int. Conf. Green Computing and IoT (2015) p. 589.
• 4) J. Dieffenderfer, H. Goodell, S. Mills, M. McKnight, S. Yao, F. Lin, E. Beppler, B. Bent, B. Lee, V. Misra, Y. Zhu, O. Oralkan, J. Strohmaier, J. Muth, D. Peden and A. Bozkur : IEEE J. Biomed. Health Inform. 20, 1251 (2016).
• 5) A.I. Boukai, Y. Bunimovich, J. Tahir-Kheli, J. Yu, W.A. Goddard, III and J.R. Heath : Nature 451, 168 (2008).

タイトルに関連する用語 (5件)： Si ,  ナノワイヤ ,  微小 ,  熱電発電 ,  高集積化