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J-GLOBAL ID：202002269337353260   整理番号：20A2266363

Fe/Si被覆層試料の反射電子エネルギー損失分光に関するモンテカルロシミュレーション研究【JST・京大機械翻訳】

Monte Carlo simulation study of reflection electron energy loss spectroscopy of an Fe/Si overlayer sample

著者 (8件)： Da Bo (Research and Services Division of Materials Data and Integrated System, National Institute for Materials Science, Ibaraki, Japan) ,  Da Bo (Research Center for Advanced Measurement and Characterization, National Institute for Materials Science, Ibaraki, Japan) ,  Yang Lihao (Research and Services Division of Materials Data and Integrated System, National Institute for Materials Science, Ibaraki, Japan) ,  Yang Lihao (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at the Microscale and Department of Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, China) ,  Liu Jiangwei (Research Center for Functional Materials, National Institute for Materials Science, Ibaraki, Japan) ,  Li Yonggang (Key Laboratory of Materials Physics, Institute of Solid State Physics, Chinese Academy of Sciences, Hefei, China) ,  Mao Shifeng (Department of Engineering and Applied Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, China) ,  Ding Zejun (Hefei National Laboratory for Physical Sciences at the Microscale and Department of Physics, University of Science and Technology of China, Hefei, China)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 52  号： 11  ページ： 742-754  発行年： 2020年 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 反射電子エネルギー損失分光法(REELS)を用いて,電子と固体間の相互作用の理論モデルによって支援された半無限固体試料の光学的および電子的特性を研究した。しかし,REELSは層状ナノ構造との電子相互作用のモデリングの困難さのため,ナノ材料サンプルを研究するのにその完全な容量には使用されていない。本研究では,Si基板上に変化する厚さのFe層から成る試料の空間的に変化する非弾性平均自由行程に関する数値計算結果を示した。さらに,このFe-Si層状構造サンプルとの電子相互作用のモンテカルロモデルをこの非弾性散乱断面積に基づいて構築し,Fe-Si層状構造のREELSスペクトルを再現するために用いた。Si基板の最上部のFe層厚を変えた試料のシミュレートしたスペクトルを実験スペクトルと比較した。この比較は,Ar+ビームスパッタリング後の実験Si基板の最上部に残留するFe層が,Ar+スパッタリング過程中のFe/Si界面の微粉化により,実験スペクトル中にFe/Si界面励起が存在しない均一な混合層の形にあることを明瞭に同定する。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *モンテカルロ法 ,  界面 ,  数値計算 ,  相互作用 ,  励起 ,  *ケイ素 ,  *鉄 ,  平均自由行程 ,  スペクトル ,  層状組織 ,  *電子エネルギー損失分光法 ,  非弾性 ,  粉化 ,  ナノ材料
準シソーラス用語： *モンテカルロシミュレーション , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： 界面励起 ,  Fe/Si被覆層 ,  モンテカルロ ,  EELS ,  表面励起

分類 (1件)： 電子分光法  (BK01050P)

タイトルに関連する用語 (7件)： Fe ,  Si ,  被覆層 ,  試料 ,  電子エネルギー損失分光 ,  モンテカルロシミュレーション ,  研究