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J-GLOBAL ID：202002269665205817   整理番号：20A2036663

チェンバ測定および発光分光法間のプロセス時間遅延の推定:APC:先進プロセス制御【JST・京大機械翻訳】

Estimation of Process Time Delay between Chamber Measurements and Optical Emission Spectroscopy : APC: Advanced Process Control

著者 (5件)： Ning Taikang (Trinity College,Department of Engineering,Hartford,Connecticut,USA) ,  Huang CH (Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA) ,  Jensen J. A. (Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA) ,  Wong V. (Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA) ,  Chan H. (Software and Controls Lam Research Corporation,Fremont,California,USA)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： ASMC  ページ： 1-5  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チャンバ測定と発光分光法(OES)データの間の時間遅れを,この論文でクロススペクトル分析を使用して推定した。制御と鍵変数の間の時間遅れは,エッチング制御プロセスにおいて有用なフィードバックを提供する。本研究では,エッチングプロセス中のチャンバ圧力を傾斜させると,チャンバ圧力とバイアス電圧測定の間の最初の高調波で時間遅れが増加し,チャンバ圧力と選択したOES波帯の間の時間遅れが減少することを見出した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： エッチング ,  プロセス制御 ,  高調波 ,  *発光分光法
準シソーラス用語： *チャンバ ,  バイアス電圧 ,  クロススペクトル , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (7件)： チェンバ ,  発光分光法 ,  プロセス ,  時間遅延 ,  推定 ,  APC ,  プロセス制御