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J-GLOBAL ID：202002269754859201   整理番号：20A0905289

3D Ge凝縮により作製した3D積層歪SiGe/Siゲートオールアラウンド(GAA)構造【JST・京大機械翻訳】

3D-stacked Strained SiGe/Ge Gate-All-Around (GAA) Structure Fabricated by 3D Ge Condensation

著者 (9件)： Suh Junkyo (Stanford University,Electrical Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305) ,  Meng Andrew C. (Stanford University,Material Science & Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305) ,  Jaikissoon Marc (Stanford University,Electrical Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305) ,  Braun Michael (Stanford University,Material Science & Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305) ,  Kim Taeho R. (Stanford University,Material Science & Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305) ,  Marshall Ann F. (Stanford University,Material Science & Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305) ,  Pakzad Anahita (Gatan Inc.,Pleasanton,CA,USA,94588) ,  McIntyre Paul C. (Stanford University,Material Science & Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305) ,  Saraswat Krishna C. (Stanford University,Material Science & Engineering Dept.,Stanford,CA,USA,94305)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： DRC  ページ： 249-250  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： チャネルに高移動度材料を組み込み,多重ゲート素子に3D積層チャネルを組み込むことにより,次世代高性能CMOS技術[1],[2]を可能にすることができる。Geはその優れたキャリア移動度と軽い有効質量のために潜在的なチャネル材料である。また,Geの凝縮は,それをSiプラットフォーム上に導入する魅力的な技術であり,その優れた相溶性の結果として,より重要なことに,臨界次元(CD)[3]を制御することが容易になる。ここでは,歪緩和バッファ(SRB)[1]またはSi[4]上のGeの直接成長を必要としない3D Ge凝縮により,3D積層歪SiGe/Ge GAAデバイスアーキテクチャを作製する新しい方法を実証した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： キャリア移動度 ,  *凝縮 ,  *ケイ素 ,  *ゲルマニウム ,  相溶性 ,  臨界 ,  有効質量 ,  *三次元 ,  チャネル
準シソーラス用語： 歪緩和 ,  CMOS技術 ,  *ゲートオールアラウンド ,  *シリコンゲルマニウム ,  高移動度 ,  多重ゲート , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 音声処理  (JE05000E) ,  医用画像処理  (JE04020T) ,  符号理論  (ND02030R) ,  NMR一般  (BM07041R) ,  専用演算制御装置  (JC04030Y)

タイトルに関連する用語 (8件)： 3D ,  Ge ,  凝縮 ,  作製 ,  歪 ,  SiGe ,  Si ,  ゲートオールアラウンド