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J-GLOBAL ID：202002270625883916   整理番号：20A1716528

くさびプリズムを有する光電子センサを用いた新しいマイクロ/ナノタッチトリガプローブ【JST・京大機械翻訳】

A new micro/nano-touch-trigger probe using an optoelectronic sensor with a wedge prism

著者 (6件)： Xu P. (School of Instrument Science and Opto-Electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Li R. J. (School of Instrument Science and Opto-Electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Jin X. W. (School of Instrument Science and Opto-Electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Wang P. Y. (School of Instrument Science and Opto-Electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Chen L. J. (School of Instrument Science and Opto-Electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China) ,  Fan K. C. (School of Instrument Science and Opto-Electronics Engineering, Hefei University of Technology, Hefei 230009, China)
資料名： Review of Scientific Instruments  (Review of Scientific Instruments)
巻： 91  号： 7  ページ： 076103-076103-3  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0517A  ISSN： 0034-6748  CODEN： RSINAK  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文では,高精度で大きな許容測定範囲を持つ新しいタッチトリガプローブを提案した。1つのオプトエレクトロニックセンサだけを用いて3D検出を達成するために,ウェッジプリズムをセンシングユニットに用いた。測定範囲は,新しい光学構造を通して±8μmから±14μmまで拡大した。プローブは均一な剛性と均一な感度を有した。プローブの性能を調べるためにいくつかの実験を行った。プローブは10nmの分解能と9.1nm以下の再現性を有することが分かった。プローブの適用性も検証した。Copyright 2020 AIP Publishing LLC All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： プローブ ,  剛性 ,  *プリズム ,  分解能 ,  再現性 ,  適応性 ,  三次元
準シソーラス用語： 高精度 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

タイトルに関連する用語 (3件)： くさび ,  プリズム ,  電子センサ