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J-GLOBAL ID：202002272251480441   整理番号：20A0643734

Ag薄膜を用いた原子拡散接合法による光学機能性接合界面の形成

Atomic diffusion bonding of wafers using Ag films for optical functional bonding interface

著者 (4件)： 村岡有菜 (東北大 学際科学フロンティア研) ,  魚本幸 (東北大 学際科学フロンティア研) ,  島津武仁 (東北大 学際科学フロンティア研) ,  島津武仁 (東北大 電通研)
資料名： エレクトロニクス実装学会講演大会講演論文集(CD-ROM)  (エレクトロニクス実装学会春季講演大会論文集(CD-ROM))
巻： 34th  ページ： ROMBUNNO.3C1-04  発行年： 2020年 
JST資料番号： X0498B  ISSN： 1880-4616  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・接合膜に機能を持たせる一例として,Au保護層を付与したAg薄膜を用いて,大気中の原子拡散接合によって透明ウエハを接合。
・ウエハを通して入射する光の反射層としてAg接合層を用いることに着目。
・Ag膜は,単金属の中では可視光域の反射率が最も高いが,その特性を活かした接合界面を形成するためには,次の3点の最適化に留意することが必要。
・すなわち,Ag膜厚,Ti等の下地膜厚,Au保護層の最適化に着目し,接合層の可視光反射率と接合強度の関係を解析。

シソーラス用語： *接合 ,  *原子 ,  *拡散 ,  銀 ,  金属薄膜 ,  機能 ,  光学 ,  保護膜 ,  光反射 ,  可視光

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (5件)： Ag ,  薄膜 ,  原子拡散 ,  光学機能 ,  接合界面