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J-GLOBAL ID：202002273675253581   整理番号：20A2238228

多重ピークを基底関数とした多元素XPSスペクトル解析の手法開発

Development of multi-element XPS spectral analysis using basis function of multiple-peaks

著者 (6件)： 村上諒 (米子工高専) ,  仲村和貴 (米子工高専) ,  田中博美 (米子工高専) ,  篠塚寛志 (物質・材料研究機構) ,  永田賢二 (物質・材料研究機構) ,  吉川英樹 (物質・材料研究機構)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.14a-A205-9  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 近年,オペランド分析や3次元分析などの測定技術の高度化に伴い,大量のスペクトルを自動解析する手法の開発が求められている.その際,既知の単相化合物の参照スペクトルと照合し,化合物の成分比率を推定する場合が多いが,その推定作業のすべてを自動化...【本文一部表示】

シソーラス用語： 自動化 ,  *スペクトル解析 ,  *スペクトル ,  *多重化 ,  三次元 ,  表面電荷 ,  有効性 ,  多相 ,  単相 ,  エネルギー分解能 ,  *基底関数 ,  スパースモデリング ,  改変
準シソーラス用語： 高度化 ,  ピークシフト ,  オペランド , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 有機化合物の各種分析  (CC08034J) ,  分光分析  (CC03012W)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多重 ,  基底関数 ,  元素 ,  XPS ,  スペクトル解析 ,  手法 ,  開発