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J-GLOBAL ID：202002275124191821   整理番号：20A0399786

多層PZT薄膜を用いた均一応力カンチレバーに基づくMEMSエネルギーハーベスティング【JST・京大機械翻訳】

MEMS Energy Harvesting Based on Uniform-Stress Cantilever with Multilayer PZT Thin Films

著者 (4件)： Hirai S. (Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan) ,  Kanda K. (Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan) ,  Fujita T. (Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan) ,  Maenaka K. (Graduate School of Engineering, University of Hyogo, 2167 Shosha, Himeji, Hyogo, Japan)
資料名： Journal of Physics: Conference Series  (Journal of Physics: Conference Series)
巻： 1407  号： 1  ページ： 012081 (5pp)  発行年： 2019年 
JST資料番号： W5565A  ISSN： 1742-6588  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スパッタリング堆積に基づく多層圧電MEMSエネルギーハーベスタを設計し製作した。高い耐久性と出力を得るために,厚さ10μmの多層PZT薄膜と厚さ80μmのSi弾性層を有するユニモルフカンチレバー構造を設計した。さらに,カンチレバーはPZT上に均一な応力を受けるように設計されている。出力と電圧は,約1.2G(=11.76m/s2)の入力加速度と最適負荷抵抗の下で,90μWと1.0V_rmsであった。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 多層 ,  電圧 ,  *片持梁 ,  *MEMS ,  耐久性 ,  ケイ素 ,  スパッタ蒸着 ,  加速度 ,  圧電気 ,  *薄膜
準シソーラス用語： 負荷抵抗 ,  エネルギーハーベスタ ,  *エネルギーハーベスティング , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  エネルギー変換装置  (LC01020U)

タイトルに関連する用語 (7件)： 多層 ,  PZT ,  薄膜 ,  応力 ,  カンチレバー ,  MEMS ,  エネルギーハーベスティング