LiNbO<sub>3</sub>/非晶質層/石英構造上の縦漏れ弾性表面波の解析

Asakawa Shiori; Hayashi Junki; Suzuki Masashi; Kakio Shoji; Tezuka Ami; Kuwae Hiroyuki; Yokota Hiroaki; Yonai Toshifumi; Kishida Kazuhito; Mizuno Jun

文献

J-GLOBAL ID：202002276469143757 整理番号：20A1884665

LiNbO₃/非晶質層/石英構造上の縦漏れ弾性表面波の解析

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic waves on LiNbO₃/amorphous layer/quartz structure

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巻： 59 号： SK ページ： SKKC12 (5pp) 発行年： 2020年07月
JST資料番号： G0520B ISSN： 0021-4922 CODEN： JJAPB6 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

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最近,石英基板とLiNbO₃(LN)またはLiTaO₃薄板から成る結合構造は,弾性表面波(SAW)デバイスに対する特性向上手段として注目されている。中間層として非晶質薄膜を利用することで,結合強度が非常に改善されることが報告されている。本研究では,Xカット36°Y伝搬LN(X36°Y-LN)とX35°CY-石英の間の境界に挿入した非晶質層上の縦漏れSAWの伝搬と共鳴特性を検討した。X36°Y-LN/Al₂O₃/X35°Y-石英構造のメタライズした表面に対して,0.0001dB/λの減衰が0.072λ(λ:波長)のLT薄板厚さで得られ,それはX36°Y-LN/X35°CY-石英構造のものより良好であった。有限要素法を用いて,X36°Y-LN/Al₂O₃/X35°Y-石英モデルのアドミタンス比とQ因子は,剪断-垂直粒子変位による漏れの減少により改善されることを見出した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.

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