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J-GLOBAL ID：202002277169711610   整理番号：20A2569636

小型光変調器用の酸化インジウムすず膜の特性に関する研究【JST・京大機械翻訳】

Research on the properties of indium tin oxide films for compact optical modulators

著者 (7件)： Jiang Rui (Beijing Jiaotong Univ. (China)) ,  Tian Lifei (Institute of Semiconductors (China)) ,  Liu Yang (Institute of Semiconductors (China)) ,  Kuang Yingxin (Institute of Semiconductors (China)) ,  Guan Huan (Institute of Semiconductors (China)) ,  Li Zhiyong (Institute of Semiconductors (China)) ,  Wang Zhi (Beijing Jiaotong Univ. (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11547  ページ： 115471V-6  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 零(ENZ)効果の近くで,インジウムスズ酸化物(ITO)は光変調器に使用でき,変調器のサイズを劇的に低減することができる。光学特性とCMOS互換能力の同調性はITOをより魅力的にする。ITO薄膜の特性を研究するために,いくつかの研究がなされてきた。最初に,薄いITO薄膜を,0~50sccmの範囲の異なる酸素流量でマグネトロンスパッタリングによって得た。第2に,EDSを元素含有量を調査するために実施した。酸素流量の増加は,ITO薄膜の酸素原子とSn原子の割合を増加させることが分かった。第3に,表面プロファイラを用いてITO薄膜の応力値を測定した。ITO薄膜の引張応力は,酸素流量が増加するとき,圧縮応力に変換する傾向があり,それは,デバイスの設計において考慮に値する。4番目に,分光計とHall効果測定を適用して,ITO薄膜の垂直入射透過率と電気的性質を測定した。より大きな酸素流量はITO薄膜の垂直入射透過率を大きくする。Hall効果測定は,ITO薄膜のキャリア濃度が1019から1021cm-3までの範囲であるという結論に寄与し,酸素流量が大きすぎると,環境酸素が増加すると,キャリア濃度は減少し,移動度は増加した。本研究は,より良い性能を達成するように,コンパクトなITOベースの光変調器の設計に寄与でき,さらに,光変調器の統合を可能にする。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： Hall効果 ,  移動度 ,  光学的性質 ,  *光変調素子 ,  電気的性質 ,  酸素 ,  スズ ,  *変調器 ,  キャリア密度 ,  透過率 ,  分光計 ,  引張応力 ,  圧縮応力 ,  *酸化インジウムスズ
準シソーラス用語： 酸素流量 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 光変調器  (BD06020W)

タイトルに関連する用語 (3件)： 光変調器 ,  酸化インジウムすず ,  研究