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J-GLOBAL ID：202002277674573680   整理番号：20A2052274

RIEによるプラスチックレンズへの反射防止構造(ARS)付与

RIE fabrication method of ARS for Plastic Lens

著者 (2件)： 谷邊健志 (ナルックス) ,  山本和也 (ナルックス)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集(CD-ROM)  (精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集(CD-ROM))
巻： 2020  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.H0401  発行年： 2020年08月20日 
JST資料番号： Y0914B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： プラスチックレンズに代表される光学部品の反射を低減させる方法として反射防止構造(ARS)が近年注目されている.ARSは微細構造体を光のサブ波長周期で配列させたもので,射出成形等の複製による生産を考えた場合,成形転写の難易度の高さが課題となってきた.今回,反応性イオンエッチング(RIE)を巧みに用いる事により,狭ピッチで高アスペクトなARSをプラスチックレンズに付与する事に成功したので報告する.(著者抄録)

シソーラス用語： *プラスチックレンズ ,  *構造 ,  *RIE【エッチング】 ,  アスペクト比 ,  長さ
準シソーラス用語： ハーフピッチ ,  高アスペクト比 ,  *反射防止構造

分類 (1件)： 光学器械要素とその材料  (QF05020K)

引用文献 (3件)：

• Wilson, S. J. and Hutley, M. C., ”The Optical Properties of 'Moth Eye' Antireflection Surfaces, ”Opt. Acta 29, 993-1009 (1982).
• Yamamoto, K. et al., SPIE 9742-75, January 2016
• Tanibe K, and Yamamoto, K., JP-PATENT No. 6611113

タイトルに関連する用語 (3件)： RIE ,  プラスチックレンズ ,  反射防止構造