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J-GLOBAL ID：202002278250323296   整理番号：20A1898653

RFマグネトロンスパッタリングによるフレキシブル基板に基づく薄膜熱電対の熱電特性に及ぼすアニーリング温度の影響【JST・京大機械翻訳】

Influences of annealing temperature on the thermoelectric properties of thin film thermocouples based on a flexible substrate by RF magnetron sputtering

著者 (8件)： Liu Zhaojun (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China) ,  Tian Bian (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China) ,  Liu Jiangjiang (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China) ,  Zhang Zhongkai (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China) ,  Lin Qijing (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China) ,  Mao Qi (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China) ,  Lu Dejiang (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China) ,  Jiang Zhuangde (State Key Laboratory for Mechanical Manufacturing Systems Engineering, Xi’an Jiaotong University, 710049, People’s Republic of China)
資料名： Measurement Science and Technology  (Measurement Science and Technology)
巻： 31  号： 9  ページ： 095101 (9pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： C0354C  ISSN： 0957-0233  CODEN： MSTCEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： インジウムスズ酸化物(ITO)と酸化インジウム(In_2O_3)からなる薄いfllm熱電対(TFTC)を設計し,非平面物体の表面温度のリアルタイムモニタリングの適用要求を満足するために高周波マグネトロンスパッタリングによりフレキシブル基板(ポリイミド)上に作製した。TFTCsのミクロ組織と熱電特性を異なるアニーリング温度の下で調べ,結果は最良のアニーリング処理結果が200°Cで1時間達成されることを示した。アニール処理後,フレキシブルTFTCsの温度分解能は0.1°Cに達し,ヒステリシス誤差と再現性誤差は,それぞれ2.06%と±1.287%に達することができた。起電力(EMF)実験は,300°Cで焼なました可撓性TFTCsの平均Seebeck係数は,56.90μV°C-1に達し,これは,温度差が200°Cのとき,非アニールのものより8.5倍以上高いことを示した。さらに,TFTCを,異なる曲率を有する内部および外部表面に置いたとき,異なる出力特性を得た。TFTCs定数のホットとコールドエンドの間の温度差を保って,フレキシブルTFTCは,EMFを測定することによって角度を測定する能力を有した。このセンサは曲面における温度測定および曲面の曲率の測定において良好な応用可能性を示した。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 温度測定 ,  起電力 ,  焼なまし ,  *熱電対 ,  *薄膜 ,  曲率 ,  柔軟性 ,  酸化インジウム ,  表面温度 ,  酸化インジウムスズ ,  *フレキシブル基板
準シソーラス用語： Seebeck係数 ,  温度差 ,  *アニーリング温度 ,  *熱電特性 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 比熱・熱伝導一般  (BL05021E) ,  筋骨格系・皮膚モデル  (EL02040R) ,  半導体薄膜  (BK14040E) ,  表示機器  (NC06030Q) ,  流体の実験・試験・測定方法及び装置  (BC01020K)

タイトルに関連する用語 (6件)： RFマグネトロンスパッタリング ,  フレキシブル基板 ,  薄膜 ,  熱電対 ,  熱電特性 ,  アニーリング温度