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J-GLOBAL ID：202002278307359051   整理番号：20A0835609

放出可能なマイクロ波板【JST・京大機械翻訳】

Releasable Micro-waveplates

著者 (10件)： Grineviciute L. (State Research Institute Center for Physical Sciences and Technology,Savanoriu ave. 231, Vilnius,Lithuania,LT-02300) ,  Juodkazis S. (Melbourne Centre for Nanofabrication, ANFF,151 Wellington Road, Clayton,Australia,VIC 3168) ,  Tolenis T. (State Research Institute Center for Physical Sciences and Technology,Savanoriu ave. 231, Vilnius,Lithuania,LT-02300) ,  Ryu M. (Tokyo Institute of Technology,Meguro-ku, Tokyo,Japan,152-8550) ,  Moein T. (Centre for Micro-Photonics, Swinburne University of Technology,John St., Hawthorn,Australia,VIC 3122) ,  Ng S.-H. (Centre for Micro-Photonics, Swinburne University of Technology,John St., Hawthorn,Australia,VIC 3122) ,  Katkus T. (Centre for Micro-Photonics, Swinburne University of Technology,John St., Hawthorn,Australia,VIC 3122) ,  Maksimovic Jovan (Centre for Micro-Photonics, Swinburne University of Technology,John St., Hawthorn,Australia,VIC 3122) ,  Drazdys R. (State Research Institute Center for Physical Sciences and Technology,Savanoriu ave. 231, Vilnius,Lithuania,LT-02300) ,  Morikawa J. (Tokyo Institute of Technology,Meguro-ku, Tokyo,Japan,152-8550)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2019  号： PIERS-Spring  ページ： 1804-1806  発行年： 2019年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ切断により基板から放出できる波長板の作製のための簡単な方法を実証した。傾斜角堆積,化学エッチング,およびレーザ書込みステップを,HC1溶液中のマイクロ波板の最終的なリフトオフと放出のために使用した。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ウェットエッチング ,  *マイクロ波 ,  傾斜角 ,  レーザ切断
準シソーラス用語： リフトオフ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 図形・画像処理一般  (JE04010I)

タイトルに関連する用語 (2件)： 放出 ,  波板