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J-GLOBAL ID：202002278947878806   整理番号：20A1101693

リング形状MEMS共振器のための熱弾性散逸を用いた品質因子トリミング法【JST・京大機械翻訳】

Quality Factor Trimming Method Using Thermoelastic Dissipation for Ring-Shape MEMS Resonator

著者 (3件)： Hamza Abdelli (Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579) ,  Tsukamoto Takashiro (Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579) ,  Tanaka Shuji (Tohoku University,Department of Robotics,Sendai,Japan,980-8579)
資料名： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conference Proceedings)
巻： 2020  号： INERTIAL  ページ： 1-4  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2441A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 熱弾性散逸(TED)の効果を用いて,MEMSディスク共振器におけるQ値(Q値)不整合を制御する新しい方法を報告した。熱伝導経路は,熱時定数を制御するためにトリミングされ,最終的には,TEDによって決定されたQ因子であった。小さな機械的剛性を有する熱伝導梁を,大きな温度差領域の間に置いた。二つの直交モードのQ値は共振周波数にほとんど影響せずに独立に制御できた。提案した方法により,Q値は38%と高く,周波数変化はわずか0.5%であった。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 円板 ,  *共振器 ,  *熱弾性 ,  熱伝導 ,  トリミング ,  剛性 ,  Q値 ,  不整合 ,  直交性 ,  共振周波数 ,  *MEMS
準シソーラス用語： 温度差 ,  *品質因子 ,  *MEMS共振器 ,  周波数変化 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (3件)： NMR一般  (BM07041R) ,  図形・画像処理一般  (JE04010I) ,  医用画像処理  (JE04020T)

タイトルに関連する用語 (5件)： リング形状 ,  MEMS共振器 ,  熱弾性 ,  散逸 ,  品質因子