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J-GLOBAL ID：202002279652841983   整理番号：20A1331381

超伝導X線検出器を搭載した走査電子顕微鏡の開発と構造材料分析への応用

Development and Application of SEM-EDS Analyzer Utilizing Superconducting X-ray Detector

著者 (4件)： 藤井剛 (国立研究開発法人産業技術総合研究所) ,  志岐成友 (国立研究開発法人産業技術総合研究所) ,  浮辺雅宏 (国立研究開発法人産業技術総合研究所) ,  大久保雅隆 (国立研究開発法人産業技術総合研究所)
資料名： 精密工学会誌(Web)  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering (Web))
巻： 86  号： 3  ページ： 197-200(J-STAGE)  発行年： 2020年 
JST資料番号： U0462A  ISSN： 1882-675X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・微量軽元素等に対する最先端分析性能を実現した経緯と,構造材料への応用を紹介。
・半導体X線検出器(SDD)の高スループットと波長分散型X線分光器(WDS)の高エネルギー分解能を両立させた超伝導トンネル接合(STJ)アレイ検出器を搭載した走査電子顕微鏡(SC-SEM)を開発。
・SC-SEMは,1mSr程度の高立体角と10eV以下の高エネルギー分解能を有し,窒素,酸素,ナトリウム,シリコン等の微量軽元素検出が可能。
・さらに,耐熱鋼の一種である9%Cr鋼の分析では,微量軽元素検出に加えて,鉄原子の酸化状態分析が可能なことを提示。

シソーラス用語： X線検出器 ,  トンネル接合 ,  超伝導接合 ,  電子顕微鏡観察 ,  *走査電子顕微鏡 ,  構造材料 ,  分析 ,  元素 ,  定量分析 ,  元素分析 ,  微量元素 ,  先端技術 ,  スループット ,  エネルギー分解能 ,  角度 ,  合金鋼 ,  耐熱鋼 ,  状態 ,  状態分析 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  軟X線
準シソーラス用語： Cr鋼 ,  SEM-EDX ,  軽元素 ,  高スループット ,  最先端技術 ,  材料分析 ,  酸化状態 ,  *走査電子顕微鏡観察 ,  超伝導トンネル接合 ,  *微量元素分析 ,  立体角

著者キーワード (14件)： superconducting X-ray detector ,  SEM-EDS ,  light element ,  structural materials ,  soft X-ray ,  heat resistant steel ,  superconducting tunnel junction ,  superconducting X-ray detector ,  SEM-EDS ,  light element ,  structural materials ,  soft X-ray ,  heat resistant steel ,  superconducting tunnel junction

分類 (2件)： 顕微鏡法  (BK01040E) ,  金属組織観察法  (WB01010R)

引用文献 (7件)：

• 1) D.M. Schlosser, P. Lechner, G. Lutz, A. Niculae, H. Soltaua, L. Struder, R. Eckhardt, K. Hermenaua, G. Schaller, F. Schopper, O. Jaritschin, A. Liebel, A. Simsek, C. Fiorini and A. Longoni : Expanding the detection efficiency of silicon drift detectors, Nucl. Inst. Methods in Phys., 624 (2010) 270.
• 2) 藤井剛, 浮辺雅宏, 志岐成友, 大久保雅隆 : ナノスケールでの元素分析に向けた大規模超伝導トンネル接合アレイX線検出器の開発, 54, 3 (2019) 181.
• 3) G. Fujii, M. Ukibe, S. Shiki and M. Ohkubo : Development of an energy-dispersive X-ray spectroscopy analyzer employing superconducting tunnel junction array detectors toward nanometer-scale elemental mapping, X-ray spectrometry, 46 (2017) 325.
• 4) M. Ukibe, G. Fujii, S. Shiki, Y. Kitajima and M. Ohkubo : Modification of Layer Structures of Superconducting Tunnel Junctions to Improve X-ray Energy Resolution, J. Low. Temp. Phys., 184 (2016) 200.
• 5) G. Fujii, M. Ukibe, and M. Ohkubo : Development of LVSEM-EDS Analyzer Utilizing Superconducting X-ray Detector Toward Nanometer-scale Elemental Mapping of CFRP/Adhesive Interface, 25, S2 (2019) 262.

タイトルに関連する用語 (6件)： 伝導 ,  X線検出器 ,  走査電子顕微鏡 ,  開発 ,  材料分析 ,  応用