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J-GLOBAL ID:202002281760778844   整理番号:20A2443234

高スケール,高耐久性,ΣΔゲート,ナノワイヤ強誘電体FETメモリトランジスタ【JST・京大機械翻訳】

Highly Scaled, High Endurance, Ω-Gate, Nanowire Ferroelectric FET Memory Transistors
著者 (7件):
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巻: 41  号: 11  ページ: 1637-1640  発行年: 2020年 
JST資料番号: B0344B  ISSN: 0741-3106  CODEN: EDLEDZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,ゲート絶縁体として強誘電体ZrドープHfO_2(HZO)を有する高スケール,非揮発性メモリトランジスタを実証した。ゲート長が約30nm,幅が約85nmのΩゲートトランジスタを~20nm厚さのSOI上に作製した。≦100nsプログラムでのロバストメモリ動作と±5Vでの消去速度,85°Cでの10年までの投影メモリ保持時間,および108耐久サイクル後の~0.5Vメモリウィンドウを実証した。erase速度に及ぼすV_Dの影響は,メモリ操作におけるホールの重要性への洞察を提供する。Copyright 2020 The Institute of Electrical and Electronics Engineers, Inc. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】
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分類 (1件):
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トランジスタ 

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