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J-GLOBAL ID：202002281772228817   整理番号：20A2528894

電気駆動マイクロ電気機械システムのための静電力表現の研究【JST・京大機械翻訳】

An investigation into the electrostatic force representation for electrically actuated microelectromechanical systems

著者 (4件)： Larkin K. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA) ,  Ceniceros J. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA) ,  Abdelmoula H. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA) ,  Abdelkefi A. (Department of Mechanical and Aerospace Engineering, New Mexico State University, Las Cruces, USA)
資料名： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies)
巻： 26  号： 12  ページ： 3685-3704  発行年： 2020年 
JST資料番号： W2056A  ISSN： 0946-7076  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 現代のエレクトロニクスにおけるマイクロ電気機械システム(MEMS)の絶えず増加する需要は,MEMSデバイスの設計を助けるための非常に正確な解析的および低減次数モデルの必要性を強化した。多くのMEMS設計は,自由端に取り付けた先端質量を有するカンチレバービームから成り,電気作動のためのクーター電極として作用する。電気的駆動MEMSの1つの重要なモデリング面は,これらのシステムを駆動する静電力である。文献の2つの最も使用された表現は,点力として2つの電極間の静電力を近似する。本研究では,電気的駆動マイクロ電気機械システムに対する静電力の表現の影響を調べた。調査中のシステムは,その端に取り付けた電極を有するビームから成る。分布力,剛体,および点質量静電力表現をモデル化し,研究し,それらの出力結果を定性的に比較した。静的および周波数解析を行い,システムの静的プルイン,基本固有振動数およびモード形状に及ぼす静電力表現の影響を調べた。次に,静電力の様々な表現を考慮したときの電気的駆動システムの応答を決定し,特性化するために非線形分布パラメータモデルを開発した。その結果,電極のサイズは,点質量,剛体および板表現を考慮した場合,固有振動数および静的プルインに強く影響することを示した。非線形解析から,この表現が系の硬化挙動とその動的プルインに影響を与えることも証明した。このモデリングと解析は,静電力表現の有用性と,静電駆動システムの不正確な設計と最適性能検出をもたらすことができる可能性のある誤った仮定に関するガイドラインを与える。Copyright Springer-Verlag GmbH Germany, part of Springer Nature 2020 Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 剛体 ,  固有振動数 ,  片持梁 ,  駆動方式 ,  非線形解析 ,  周波数解析 ,  電子技術 ,  キャラクタリゼーション ,  *MEMS
準シソーラス用語： *静電気力 ,  パラメトリックモデル ,  振動モード形 ,  機械システム ,  静電駆動 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (5件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  静電機器  (NB10020R) ,  共振器  (NC04050Y) ,  構造動力学  (HD02000E) ,  梁,桁  (HD03020H)

タイトルに関連する用語 (5件)： 電気駆動 ,  電気機械 ,  静電力 ,  表現 ,  研究