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J-GLOBAL ID：202002285210470266   整理番号：20A2239367

X線光電子顕微鏡を用いたDLC膜の摺動痕の観察

Observation of sliding mark on DLC film surface using X-ray photoemission electron microscopy

著者 (9件)： 法月奏太 (東京工大) ,  TUNMEE Sarayut (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  EUARUKSAKUN Chanan (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  RITTIHONG Ukit (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  富所優志 (東京工大) ,  SUPRUANGNET Ratchadaporn (Synchrotron Light Res. Inst.) ,  平田祐樹 (東京工大) ,  大竹尚登 (東京工大) ,  赤坂大樹 (東京工大)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.15a-D221-4  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 1.緒言. ダイヤモンド状炭素(DLC)膜はsp2及びsp3結合性炭素と水素からなり,これらの構造により特性が変化する.このsp2/sp3比は吸収端近傍X線吸収微細構造(NEXAFS)によって評価できる.一方,DLC膜はその高い硬さ値や低...【本文一部表示】

シソーラス用語： X線照射 ,  Young率 ,  コントラスト ,  シンクロトロン ,  軸受 ,  水素 ,  炭素 ,  炭化水素 ,  気相 ,  *DLC膜 ,  *光電子 ,  XAFS ,  NEXAFS ,  構造変化 ,  アルキン

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

物質索引 (1件)： アセチレン

タイトルに関連する用語 (5件)： X線 ,  光電子顕微鏡 ,  DLC膜 ,  摺動 ,  観察