交流コロナ放電の空気イオナイザの等価回路シミュレーション  中性化性能の周波数依存性

OKANO M.; IKEHATA T.; TERASHIGE T.

文献

J-GLOBAL ID：202002285317425792 整理番号：20A1479115

交流コロナ放電の空気イオナイザの等価回路シミュレーション中性化性能の周波数依存性

An Equivalent Circuit Simulation of an AC Corona Discharge Air Ionizer-Frequency Dependence of Neutralization Performance-

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巻： 13 号： 1 ページ： 14-20 (WEB ONLY) 発行年： 2019年
JST資料番号： U2009A ISSN： 2435-0125 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：英語 (EN)

検査プロセスにおいて,電子回路および/またはデバイスの故障運転を防止するために,交流コロナ放電空気イオナイザを用いて静的電荷を中性化した。中性化電流密度(J_W)および電場雑音(E_W)である中性化性能は,空気イオナイザの操作条件に依存する。生産ラインを停止することなく最適操作条件を見つけるために,統合回路強調(SPICE)によるシミュレーションプログラムを用いて等価回路シミュレーション法を提案した。シミュレーションにおいて,イオン発生特性をダイオードと抵抗器から成る回路によってシミュレートした。イオンの輸送と蓄積を抵抗器とキャパシタによってシミュレートした。再結合に基づくイオンの消滅をキャパシタと抵抗器によってシミュレートした。本研究では,交流コロナ放電空気イオナイザの中性化性能の動作周波数の依存性をシミュレーションした。シミュレーションの結果は,2~25Hzの周波数範囲での実験結果と良く一致した。(翻訳著者抄録)

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気体放電

引用文献 (28件)：

O. J. McAteer, “Electrostatic discharge control”, McGraw-Hill., U.S.A.,pp. 203-255, 1990.
D. Krakauer, “ESD protection in a 3.3 V sub-micron silicided CMOS technology,” Journal of Electrostatics, vol. 31, Issues 2-3. pp. 111-129, 1993.
S. U. Kim, “ESD induced gate oxide damage during wafer fabrication process,” Journal of Electrostatics, vol. 31, Issues 2-3. pp. 323-337, 1993.
T. Terashige, D. Ohashi, and K. Okano, “Noise reduction of corona discharge air ionizer,” EOS/ESD Symposium, Charlotte, NC, U.S.A., pp. 243-247, 2002.
S. Nagao, T. Terashige, and K. Okano, “Effect of space charge generated by air ionizer on noise in electric devices and/or electric circuit,” ECS Int’l Semiconductor Technology Conference, Shanghai, China, pp. 57-63, 2004.

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交流コロナ放電の空気イオナイザの等価回路シミュレーション 中性化性能の周波数依存性

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