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J-GLOBAL ID：202002286666521875   整理番号：20A1939840

宇宙開発の今~究極のクリーン化を目指して~宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームを用いた研究開発

著者 (5件)： 山崎典子 (宇宙航空研究開発機構) ,  川崎繁男 (宇宙航空研究開発機構) ,  三田信 (宇宙航空研究開発機構) ,  和田武彦 (宇宙航空研究開発機構) ,  石川久美 (宇宙航空研究開発機構)
資料名： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
巻： 30  号： 9  ページ： 5-8  発行年： 2020年09月10日 
JST資料番号： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・宇宙科学研究所先端宇宙科学実験棟に設けられた宇宙ナノエレクトロニクスクリーンルームを用いた研究開発例を紹介。
・世界初のHySIC(Hybrid Semiconductor Integrated Circuit)整流器の試作を紹介。
・MEMS(Micro Electro-Mechanical System)型シリコン望遠鏡の開発を紹介。
・幅広い波長の光に対し,高感度センサとしてボロメータあるいはマイクロカロリメータと呼ばれる特殊なセンサの開発を紹介。

シソーラス用語： *クリーンルーム ,  宇宙開発 ,  *電子技術 ,  *宇宙科学 ,  実験室 ,  半導体集積回路 ,  望遠鏡 ,  ボロメータ ,  微量熱量計 ,  センサ ,  整流器
準シソーラス用語： *ナノエレクトロニクス

分類 (1件)： 研究開発  (DA01040C)

タイトルに関連する用語 (4件)： 宇宙 ,  開発 ,  クリーン化 ,  研究