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J-GLOBAL ID：202002288430659395   整理番号：20A1020940

3D NANDのための画像計測によるOPO残差の改善【JST・京大機械翻訳】

OPO residuals improvement with imaging metrology for 3D NAND

著者 (11件)： Katz Shlomit (KLA Corp. (Israel)) ,  Golotsvan Anna (KLA Corp. (Israel)) ,  Grauer Yoav (KLA Corp. (Israel)) ,  Megged Efi (KLA Corp. (Israel)) ,  Gray Greg (KLA Corp. (United States)) ,  Leung Fiona (Shuk Fan) (KLA Corp. (Singapore)) ,  Ong Pek Beng (KLA Corp. (Singapore)) ,  Lei Shi (KLA Corp. (China)) ,  Wei Jeremy (Shi-Ming) (KLA Corp. (China)) ,  Zhou Wayne (Wei) (KLA Corp. (China)) ,  Gao Linfei (KLA Corp. (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11325  ページ： 113252J-8  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 最新の3D NAND装置において,測定精度制御に関するより大きな焦点があり,全測定不確実性(TMU)のより伝統的な最小化と結合した。測定の不正確さは,制御と最適化を必要とするオーバレイ(OVL)予算のますます重要な部分を消費する。本論文では,3D NANDプロセスの課題に対処するために,先進的アルゴリズムと組み合わせた波同調(WT)能力を用いた画像化OVL測定精度の改善を示した。WT能力を利用した新しいOVLターゲット設計に加えて,測定帯域幅,焦点位置およびグラブフレームの数の最適化を通して,OVLモデル残差の改善も実証した。精度と工具から工具へのマッチングの改善は,関心領域(ROI)と分割測定領域の両方の最適化により,二重レシピ技術を用いて実現される。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： アルゴリズム ,  最適化 ,  測定精度 ,  *残差 ,  同調 ,  帯域幅 ,  *三次元
準シソーラス用語： グラブ ,  レシピ ,  画像化 ,  測定の不確かさ ,  *画像計測 ,  関心領域 ,  *NAND , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (4件)： 3D ,  NAND ,  画像計測 ,  残差