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J-GLOBAL ID：202002289596972250   整理番号：20A2662606

磁気レオロジー研磨に基づく複雑な構造位相光学素子のための大規模高速滞留時間アルゴリズム【JST・京大機械翻訳】

Large-scale fast dwell time algorithm for complex structure phase optical elements based on magnetorheological polishing

著者 (4件)： Tang Caixue (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Yan Hao (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Wen Shenglin (China Academy of Engineering Physics (China)) ,  Zhang Yuanhang (China Academy of Engineering Physics (China))
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 11568  ページ： 115680T-10  発行年： 2020年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 大きい深さ,小さい期間と高い急勾配の特性のために,複雑な構造の位相光学要素は,磁気粘性処理において小さなサイズ除去機能を使用する必要があり,研磨経路を計画するとき,非常に小さなライン間隔とステップサイズ値を使用して,滞留時間マトリックスは非常に大きくて,滞留時間計算速度は遅い。そのうえ,複雑な位相光学プロファイルのため,滞留時間の高精度収束を達成するのは難しい。本論文は,複雑な構造位相光学素子のための高速で高精度な数値反復ドウェル時間アルゴリズムを提案して,本論文は,全反復計算プロセスにおける滞留時間を計算するために,FFT畳込みマルチコア並列アルゴリズムの方法を実現するドウェルポイントマトリックスの概念を提案した。また,滞留時間計算の高精度収束を達成するために,本論文は,機械の動的性能マッチングに基づく計算規則を提案して,この機械の滞留時間,速度,加速度,および速度平滑度を磁気粘性機械の性能と整合させて,それはこの機械の安定性を改良した。大直径連続位相板(CPP)を磁気粘性機械上で処理する。CPPの形状は様々な周期のランダム構造を含む。初期RMS=228.07nm,CPPデータマトリックスサイズは2424×2424であり,そして,線間隔は0.6mmであり,滞留時間は,本論文で記述したアルゴリズムを使用して計算され,全計算プロセスは,4.2秒だけであり,計算速度は,従来の反復法より約3倍速く,CPP残留誤差RMSは,10.2nmに収束した。CPP処理を完了後,CPPの実際の残留誤差RMSは元の228.07nmから15.6nmまで減少し,その収束速度は93.1%であり,このアルゴリズムは高い計算効率と収束精度を有することを示した。COPYRIGHT SPIE. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *アルゴリズム ,  *研磨 ,  畳込み ,  逐次近似 ,  加速度 ,  滞留時間 ,  位相板 ,  磁気粘性 ,  計算機処理速度 ,  *位相 ,  光学素子 ,  並列アルゴリズム ,  平滑度
準シソーラス用語： 収束速度 ,  計算効率 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (4件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O) ,  光学情報処理  (BD03060T) ,  光デバイス一般  (BD06010L) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 磁気レオロジー ,  研磨 ,  位相 ,  光学素子 ,  大規模 ,  滞留時間 ,  アルゴリズム