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J-GLOBAL ID：202002290527603267   整理番号：20A1555192

高アスペクト比アルミニウムドープ酸化亜鉛ナノメカニカル共振器【JST・京大機械翻訳】

High-aspect-ratio aluminum-doped zinc oxide nanomechanical resonator

著者 (3件)： Van Toan Nguyen (Graduate School of Engineering, Tohoku University, 6-6-01 Aramaki-Aza-Aoba, Aoba-ku,, Sendai, 980-8579, Japan) ,  Inomata Naoki (Graduate School of Engineering, Tohoku University, 6-6-01 Aramaki-Aza-Aoba, Aoba-ku,, Sendai, 980-8579, Japan) ,  Ono Takahito (Graduate School of Engineering, Tohoku University, 6-6-01 Aramaki-Aza-Aoba, Aoba-ku,, Sendai, 980-8579, Japan)
資料名： IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering  (IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering)
巻： 12 Suppl S2  ページ： S141-S142  発行年： 2017年 
JST資料番号： W1854A  ISSN： 1931-4973  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文は,深い反応性イオンエッチング(深いRIE)と原子層堆積(ALD)プロセスの組み合わせに基づく高アスペクト比アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)容量共振器のパターニングについて報告する。懸濁AZO容量共振器を成功裏に実証した。その共振周波数を10.4kHzで観測し,品質因子(Q因子)は真空室で約500であった。Copyright 2020 Wiley Publishing Japan K.K. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： *共振器 ,  懸濁液 ,  *酸化亜鉛 ,  真空容器 ,  Q値 ,  共振周波数 ,  RIE【エッチング】 ,  パターン形成
準シソーラス用語： 品質因子 ,  高アスペクト比 ,  *ナノメカニカル共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (4件)： ナノメカニカル構造 ,  アルミニウムドープ酸化亜鉛 ,  深い反応性イオンエッチング ,  原子層蒸着

分類 (1件)： 送配電一般  (NB05010K)

タイトルに関連する用語 (5件)： 高アスペクト比 ,  アルミニウム ,  ドープ ,  酸化亜鉛 ,  ナノメカニカル共振器