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J-GLOBAL ID：202002291169683886   整理番号：20A0288347

アニールしたスパッタAlNによるナノパターン化サファイア基板上のAlN膜のMOVPE成長【JST・京大機械翻訳】

MOVPE growth of AlN films on nano-patterned sapphire substrates with annealed sputtered AlN

著者 (6件)： Iba Yukino (Graduate School of Engineering, Mie University, 1577 Kurimamachiya, Tsu, Mie 514-8507, Japan) ,  Shojiki Kanako (Graduate School of Engineering, Mie University, 1577 Kurimamachiya, Tsu, Mie 514-8507, Japan) ,  Uesugi Kenjiro (Strategic Planning Office for Regional Revitalization, Mie University, 1577 Kurimamachiya, Tsu, Mie 514-8507, Japan) ,  Xiao Shiyu (Graduate School of Regional Innovation Studies, Mie University, 1577 Kurimamachiya, Tsu, Mie 514-8507, Japan) ,  Miyake Hideto (Graduate School of Engineering, Mie University, 1577 Kurimamachiya, Tsu, Mie 514-8507, Japan) ,  Miyake Hideto (Graduate School of Regional Innovation Studies, Mie University, 1577 Kurimamachiya, Tsu, Mie 514-8507, Japan)
資料名： Journal of Crystal Growth  (Journal of Crystal Growth)
巻： 532  ページ： Null  発行年： 2020年 
JST資料番号： B0942A  ISSN： 0022-0248  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 低転位密度で平坦な表面を持つAlN膜を,初期層として面から面へアニールしたスパッタAlN(FFA Sp-AlN)を持つナノパターン化サファイア基板(NPSSs)上に有機金属気相エピタクシー(MOVPE)により成長させた。透過型電子顕微鏡(TEM),原子間力顕微鏡(AFM)およびX線ロッキング曲線(XRC)測定により,AlN層の転位消滅機構および合体を研究した。断面TEM画像から,合体厚さは1.2μmであることが得られた。この厚さは,FFA Sp-AlNを含まないNPSS上のMOVPE成長AlN膜よりも薄かった。AFM画像は原子的に平坦な表面が3μm以上の厚さの試料から得られることを明らかにした。半最大値でのXRC全幅から,FFA Sp-AlN/NPSS上の5μm厚AlN膜のスクリューおよびエッジ転位密度は,それぞれ,4×10~7cm~2および6×10~8cm-2と計算された。このエッジ転位密度,すなわち,支配的な貫通転位密度は,FFA Sp-AlN/フラットサファイア基板(FSS)上に成長させたAlN膜のそれとほぼ同じである。これらの結果は,FFA Sp-AlNが高結晶質AlN膜を成長させるための方法として,FSSsだけでなくNPSSsにも適用できることを示している。Copyright 2020 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： ロッキングカーブ ,  原子間力顕微鏡 ,  転位密度 ,  *窒化アルミニウム ,  透過型電子顕微鏡 ,  *MOCVD ,  電子顕微鏡観察 ,  刃状転位 ,  スパッタリング ,  *サファイア基板 ,  *ナノパターン
準シソーラス用語： 貫通転位密度 , 【Automatic Indexing@JST】

著者キーワード (5件)： A3:有機金属気相エピタクシー ,  A2:スパッタリング ,  B2:AlN ,  A1:ナノパターン化サファイア基板 ,  A1:貫通転位密度

分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： アニール ,  スパッタ ,  AlN ,  ナノパターン ,  サファイア基板 ,  MOVPE ,  成長