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J-GLOBAL ID：202002291850335711   整理番号：20A2503614

モノリシック三軸MEMSジャイロスコープの機械的結合特性の解析【JST・京大機械翻訳】

Analysis of the mechanical coupling characteristics of a monolithic tri-axis MEMS gyroscope

著者 (5件)： Wang Yue (Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Chen Zhiyong (Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Zhou Bin (Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Wei Qi (Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China) ,  Zhang Rong (Department of Precision Instrument, Tsinghua University, Beijing 100084, China)
資料名： Journal of Physics: Conference Series  (Journal of Physics: Conference Series)
巻： 1633  号： 1  ページ： 012073 (10pp)  発行年： 2020年 
JST資料番号： W5565A  ISSN： 1742-6588  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： モノリシック三軸マイクロ電気機械ジャイロスコープの機械的結合特性はジャイロスコープの性能に重要な影響を及ぼし,結合は処理誤差に直接関係する。本論文では,モノリシック三軸マイクロ電気機械ジャイロスコープの構造と原理を紹介し,動的結合モデルを確立し,ビーム幅誤差に起因する機械的結合問題を研究した。有限要素解析ツールを用いて,ビーム幅誤差を有するジャイロスコープ構造の調和応答をシミュレーションした。各センシングモードに対する駆動モードの等価結合角速度,およびセンシングモード間の交差結合係数,駆動-センシングおよびセンシング-センシング結合特性について調べた。ユニットビーム幅誤差の下の結合誤差を得て,単一チップ三軸ジャイロスコープの構造設計および処理のための精度要求のための参照として用いることができた。Please refer to the publisher for the copyright holders. Translated from English into Japanese by JST.【JST・京大機械翻訳】

シソーラス用語： 電気機械 ,  構造設計 ,  結合係数 ,  結合角 ,  *ジャイロスコープ ,  結合モデル
準シソーラス用語： 有限要素 ,  *三軸 ,  ビーム幅 ,  *MEMSジャイロスコープ , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (2件)： MEMSジャイロスコープ ,  解析