気流型分析システムの標準試料作成方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人磯野国際特許商標事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-231763
公開番号（公開出願番号）：特開2018-087779
特許番号：特許第6727722号
出願日： 2016年11月29日
公開日（公表日）： 2018年06月07日
請求項（抜粋）：

【請求項1】検査対象物に付着した付着物を分析する気流型分析システムによる検査時に前記検査対象物に付着している可能性のある微粒子であるバックグラウンドを容器に秤量する工程と、前記バックグラウンドに、試料の溶液を添加する工程と、前記試料の溶液を乾燥させる工程と、アセトンの液面が前記容器の壁面に析出している前記試料の高さより高くなるよう、前記アセトンを前記容器に添加する工程と、前記容器内に添加された前記アセトンを乾燥させる工程と、を含むことを特徴とする気流型分析システムの標準試料作成方法。

IPC (2件)：