特許

J-GLOBAL ID：202003001600246224

吸光分析装置

発明者： 波田 美那子 ,  林 大介
出願人/特許権者： 株式会社堀場エステック
代理人 (3件)： 西村 竜平 ,  齊藤 真大 ,  上村 喜永
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-227888
公開番号（公開出願番号）：特開2020-091168
出願日： 2018年12月05日
公開日（公表日）： 2020年06月11日
要約：

【課題】チャンバ等の容器内に流入又は発生する分析対象ガスを直接測定することができ、水分の結露による測定誤差を防ぐことができる吸光分析装置を提供する。【解決手段】分析対象ガスが流入又は発生する容器の第1開口を塞ぐように取り付けられ、前記容器内に光を射出する光射出モジュールと、前記光射出モジュールから射出され、前記容器内を通過した光を検出する光検出モジュールと、を備え、前記光射出モジュールが、前記容器の外面において前記第1開口の周囲に取り付けられるベースフランジと、前記容器内と接する内側面に対して外側面が所定角度傾斜した窓材と、前記ベースフランジと前記窓材の内側面との間に挟まれるシール部材と、前記ベースフランジに対して固定される固定面、及び、前記窓材の外側面を前記ベースフランジ側へ押圧する押圧体と、を具備した。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

分析対象ガスが流入又は発生する容器の第1開口を塞ぐように取り付けられ、前記容器内に光を射出する光射出モジュールと、 前記光射出モジュールから射出され、前記容器内を通過した光を検出する光検出モジュールと、を備え、 前記光射出モジュールが、 前記容器の外面において前記第1開口の周囲に取り付けられるベースフランジと、 前記容器内と接する内側面に対して外側面が所定角度傾斜した窓材と、 前記ベースフランジと前記窓材の内側面との間に挟まれるシール部材と、 前記ベースフランジに対して固定される固定面、及び、前記窓材の外側面を前記ベースフランジ側へ押圧する傾斜面を具備する押圧体と、を具備したことを特徴とする吸光分析装置。

IPC (3件)：

G01N 21/53 ,  G01N 21/03 ,  G01N 21/15

FI (3件)：

G01N21/53 ,  G01N21/03 B ,  G01N21/15

Fターム (18件)：

2G057AA01 ,  2G057AC03 ,  2G057BA01 ,  2G057BB02 ,  2G057DA20 ,  2G057DB03 ,  2G057EA06 ,  2G057EA07 ,  2G059AA01 ,  2G059BB01 ,  2G059DD16 ,  2G059EE01 ,  2G059GG01 ,  2G059GG09 ,  2G059JJ21 ,  2G059LL04 ,  2G059NN02 ,  2G059NN06

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 多成分用レーザ式ガス分析計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-277263   出願人：富士電機株式会社
• 光学測定セル及び光学分析計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-120980   出願人：株式会社堀場製作所
• 排ガス分析装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2006-112519   出願人：トヨタ自動車株式会社, 三菱重工業株式会社
• フローセル
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2015-062166   出願人：株式会社島津製作所