特許
J-GLOBAL ID：202003001695687770
超音波デバイス、超音波モジュール、及び超音波測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-090953
公開番号（公開出願番号）：特開2017-200106
特許番号：特許第6665667号
出願日： 2016年04月28日
公開日（公表日）： 2017年11月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 第一開口と第二開口とを有する基板と、
前記基板上に設けられ、前記第一開口及び前記第二開口を閉塞する支持膜と、
前記支持膜上に設けられ、かつ前記基板の厚み方向から見た際に、前記第一開口と重なる位置に設けられ、前記基板の厚み方向において一対の電極に挟まれた送信用圧電膜と、
前記支持膜上に設けられ、かつ前記基板の厚み方向から見た際に、前記第二開口と重なる位置に設けられ、前記基板の厚み方向において一対の電極に挟まれた受信用圧電膜と、
を備え、
前記基板の厚み方向に対する前記送信用圧電膜の厚み寸法は、前記受信用圧電膜の厚みよりも薄く、
前記支持膜は、前記第一開口を閉塞する第一振動部と、前記第二開口を閉塞する第二振動部と、含み、
前記第一振動部と、前記送信用圧電膜とを含んで、送信トランスデューサーが構成され、
前記第二振動部と、前記受信用圧電膜とを含んで、受信トランスデューサーが構成され、
前記送信トランスデューサーの固有周波数と、前記受信トランスデューサーの固有周波数との差が0.2MHz以上0.8MHz以下である
ことを特徴とする超音波デバイス。
IPC (5件)：
H04R 17/00 ( 200 6.01)
, A61B 8/14 ( 200 6.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
, H01L 41/113 ( 200 6.01)
, H01L 41/04 ( 200 6.01)
H04R 17/00 330 H
, A61B 8/14
, H04R 17/00
, H01L 41/09
, H01L 41/113
, H01L 41/04
