特許
J-GLOBAL ID：202003001848456861
切削装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
青木 宏義
, 天田 昌行
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-215603
公開番号（公開出願番号）：特開2018-074087
特許番号：特許第6742220号
出願日： 2016年11月02日
公開日（公表日）： 2018年05月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 保持面で板状ワークを保持する保持テーブルと、該保持テーブルが保持した板状ワークに円板状で導通性の切削ブレードを切り込ませて切削する切削手段と、該切削手段を昇降させ板状ワークに該切削ブレードを切り込ませる昇降手段と、
該昇降手段で該切削手段を下降させ検出光を発光する発光部と該検出光を受光する受光部との間に該切削ブレードを進入させ該受光部が受光する受光量の低下により該切削ブレードの外周端を検出したときの該切削手段の第1の高さ位置を記憶するブレード検出手段と、
該昇降手段で該切削手段を下降させ該保持テーブルの該保持面に該切削ブレードの外周端の接触を検知したときの該切削手段の接触高さ位置を記憶する接触検知手段と、
該第1の高さ位置と該接触高さ位置との補正値を算出する第1の算出手段と、
該ブレード検出手段による該第1の高さ位置と該補正値とを用いて該保持面に該切削ブレードの外周端が接触するときの該切削手段の第2の高さ位置を算出する第2の算出手段と、を備える切削装置であって、
該発光部と該受光部との間に該切削ブレードが進入しないときの該受光量が予め設定した基準受光量に達していないとき該受光量を該基準受光量にシフトするシフト手段を備え、
該シフト手段がシフトしたときは、該ブレード検出手段による該第1の高さ位置と該接触検知手段による該接触高さ位置とを新たに記憶し該第1の算出手段により該補正値を更新した後、該ブレード検出手段による該第1の高さ位置と該更新した補正値とを用いて該第2の高さ位置を該第2の算出手段で算出する切削装置。
IPC (3件)：
H01L 21/304 ( 200 6.01)
, B24B 27/06 ( 200 6.01)
, B24B 49/12 ( 200 6.01)
H01L 21/304 601 Z
, B24B 27/06 M
, B24B 49/12
