特許
J-GLOBAL ID：202003002376243830
プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
藤村 元彦
, 高野 信司
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-056101
公開番号（公開出願番号）：特開2017-172999
特許番号：特許第6697913号
出願日： 2016年03月18日
公開日（公表日）： 2017年09月28日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 検査対象物の電極パッドを介して検査用の電気信号の供給及び取得を行うプローブカードに結合され、前記プローブカードの表面から突出しているプローブであって、
前記電極パッドに接触させる為の第1の接触端部を有するコンタクトピンと、
前記コンタクトピンから分岐して形成されており、前記電極パッドに接触させる為の第2の接触端部を有する弾性変形可能なスクラッチピンと、を有し、
前記第2の接触端部から前記プローブカードの表面までの距離が前記第1の接触端部から前記プローブカードの表面までの距離よりも大きく、
前記第1の接触端部と前記第2の接触端部とを直線で結ぶ軸方向に直交しており且つ前記プローブカードの表面と平行な方向における前記第2の接触端部の幅が、前記軸方向に直交しており且つ前記プローブカードの表面と平行な方向における前記第1の接触端部の幅よりも大きいことを特徴とするプローブ。
IPC (2件)：
G01R 1/073 ( 200 6.01)
, H01L 21/66 ( 200 6.01)
G01R 1/073 A
, H01L 21/66 B
