特許
J-GLOBAL ID：202003002765662636
変位測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
龍華国際特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-008328
公開番号（公開出願番号）：特開2017-129428
特許番号：特許第6743393号
出願日： 2016年01月19日
公開日（公表日）： 2017年07月27日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 測定対象の変位を測定する変位測定装置であって、
光源部と、
前記光源部から照射された光を反射し、予め定められた軸において回転可能な光走査装置を有する光走査部と、
前記測定対象上に設けられ、前記光走査部から反射された光を反射する反射部と、
前記反射部から反射された光を受光する受光部と、
前記受光部が受光する光に基づいて前記測定対象の前記変位を算出する変位算出部と
を備え、
前記光源部、前記光走査部、前記受光部および前記変位算出部は、前記測定対象から離間して設けられ、
前記反射部は、1つの反射面を有し、
前記光源部は、
第1の光源と、
前記反射部に対する角度が前記反射部に対する前記第1の光源の角度より小さい位置に設けられた第2の光源と
を有し、
前記光走査部は、
前記第1の光源から照射された光を前記1つの反射面へ反射する第1の光走査装置と、
前記第2の光源から照射された光を前記1つの反射面へ反射する第2の光走査装置と
を有し、
前記受光部は、
前記第1の光走査装置において反射され、前記1つの反射面で反射された光を受光する第1の受光素子と、
前記第2の光走査装置において反射され、前記1つの反射面で反射された光を受光する第2の受光素子と
を有し、
前記変位算出部は、
前記第2の受光素子が受光する光に基づいて、前記1つの反射面と平行な第1方向における前記測定対象の変位が生じていたかを検知し、
前記第1方向における前記測定対象の変位が生じていない場合に、前記第1の受光素子が受光する光に基づいて、前記1つの反射面に直交する第2方向における前記測定対象の変位を算出する
変位測定装置。
IPC (5件)：
G01B 11/00 ( 200 6.01)
, B81B 7/02 ( 200 6.01)
, G01C 15/00 ( 200 6.01)
, G02B 26/10 ( 200 6.01)
, G02B 26/08 ( 200 6.01)
G01B 11/00 A
, B81B 7/02
, G01C 15/00 103 D
, G02B 26/10 104 Z
, G02B 26/08 E
