特許
J-GLOBAL ID：202003003478876770
MEMSデバイス、及び、液体噴射ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
渡辺 和昭
, 磯部 光宏
, 仲井 智至
, 松岡 宏紀
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-016933
公開番号（公開出願番号）：特開2017-136690
特許番号：特許第6728718号
出願日： 2016年02月01日
公開日（公表日）： 2017年08月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数の可動領域と、
前記複数の可動領域から第1の方向に沿って延在された複数の配線と、
前記複数の配線に接続された複数の電極と、を備え、
前記複数の電極は、他の電極端子が接続される複数の接続領域を有し、
前記複数の電極は、(i)第1の電極と、(ii)前記第1の電極と前記第1の方向に交差する第2の方向に隣接する第2の電極と、(iii)前記第2の電極に対して前記第2の方向における前記第1の電極と反対側に位置する第3の電極と、を有し、
前記第1の電極の前記第1の方向における一端部は、前記第2の方向からみたときに、前記第3の電極の前記第1の方向における一端部に重なり、
前記第1の電極の前記第1の方向における一端部は、前記第2の方向からみたときに、前記第2の電極の前記第1の方向における一端部に重ならず、
前記第1の電極に対応する前記配線の前記第1の方向における端部は、前記第2の方向からみたときに前記第2の電極に対応する前記配線の前記第1の方向における端部と重なることを特徴とするMEMSデバイス。
IPC (2件)：
B41J 2/14 ( 200 6.01)
, B41J 2/16 ( 200 6.01)
B41J 2/14 611
, B41J 2/14 607
, B41J 2/16 305
