コリメータ及び小型レンズアレイを有する光学デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：柴田沙希子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-536021
特許番号：特許第6671377号
出願日： 2016年01月06日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光源と光学デバイスとを有する照明装置であって、前記光学デバイスは前記光源からの光をコリメートする光軸を有する光学的なコリメータと、複数の第1の小型レンズを有する第1の小型レンズアレイと、複数の第2の小型レンズを有する第2の小型レンズアレイと、を有し、前記第1の小型レンズアレイ及び前記第2の小型レンズアレイは、前記第1の小型レンズアレイのモザイクがパターン及び小型レンズの形状に関して前記第2の小型レンズアレイのモザイクと一致するように配されており、前記第1の小型レンズアレイの前記モザイクのパターンは、前記第2の小型レンズアレイの前記モザイクのパターンと位置合わせされ、この結果、前記光学的なコリメータによってコリメートされる光が前記光源の投射を提供し、前記投射の形状は、少なくとも前記コリメータの前記光軸に対して規定されるメリジオナル方向に沿って見られると変化しており、前記光源の投射は、第1の小型レンズアレイによって第2の小型レンズアレイに集束され、前記第2の小型レンズの少なくとも一部の各々のサジタル及びメリジオナル寸法の比は、少なくとも前記投射の変化する前記形状に適応化された前記第2の小型レンズアレイの前記メリジオナル方向に沿って変化する、照明装置。

IPC (4件)：

G02B 19/00 ( 200 6.01) , G02B 3/00 ( 200 6.01) , F21S 2/00 ( 201 6.01) , F21V 5/04 ( 200 6.01)

FI (5件)：

G02B 19/00 , G02B 3/00 A , F21S 2/00 340 , F21V 5/04 250 , F21V 5/04 400

引用特許：

審査官引用 (5件)

光学素子および照明装置
公報種別：公表公報出願番号：特願2010-534359 出願人：オスラムオプトセミコンダクターズゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング, オスラムゲゼルシャフトミットベシュレンクテルハフツング
フライアイレンズおよびそれを備えた投影露光装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-065609 出願人：日本電気株式会社
特開昭63-150803

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