特許
J-GLOBAL ID：202003004253187602

保持装置の製造方法

発明者：
上松 秀樹

上松 秀樹 について

, 
江口 明

江口 明 について


出願人/特許権者：
日本特殊陶業株式会社

日本特殊陶業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人アルファ国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-178571
公開番号（公開出願番号）：特開2020-053460
出願日： 2018年09月25日
公開日（公表日）： 2020年04月02日
要約：
【課題】板状部材の第1の表面の温度分布を制御可能としつつ、保持装置の製造プロセスにおける歩留まりを向上させる保持装置の製造方法を提供する。【解決手段】保持装置の製造方法は、第1の板状部材と第1のベース部材と第1の接合部とから構成される積層体を作製する工程と、第1の板状部材の第1の表面の温度分布を測定する工程と、当該測定結果が所定の条件を満たさないとき、積層体における第1の板状部材と第1のベース部材とを分離する工程と、当該測定結果に応じて、第1の板状部材と第1の接合部と第1のベース部材との少なくとも1つの構成を、第2の板状部材と、第2の接合部と、第2のベース部材とにそれぞれ変更する工程と、第1/第2の板状部材と第1/第2のベース部材との間に第1/第2の接合部を配置して、第1/第2の接合部を硬化させることにより、板状部材とベース部材とを接合する接合部を作製する工程と、を備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
第1の表面と、前記第1の表面とは反対側に位置する第2の表面とを有する板状部材と、第3の表面を有し、前記第3の表面が前記板状部材の前記第2の表面側に位置するように配置され、かつ、冷却機構を有するベース部材と、前記板状部材の前記第2の表面と前記ベース部材の前記第3の表面との間に配置され、前記板状部材と前記ベース部材とを接合する接合部と、を備え、前記板状部材の前記第1の表面上に対象物を保持する保持装置の製造方法において、 前記板状部材の前記ベース部材との接合前の状態である第1の板状部材の前記第2の表面と、前記ベース部材の前記板状部材との接合前の状態である第1のベース部材の前記第3の表面との間に、前記接合部の硬化前の状態である第1の接合部を配置して、前記第1の板状部材と前記第1の接合部と前記第1のベース部材とから構成される積層体を作製する第1の工程と、 前記積層体を構成する前記第1の板状部材における前記第1の表面の温度分布を測定する第2の工程と、 前記第2の工程で測定された、前記第1の板状部材における前記第1の表面の温度分布の測定結果が所定の条件を満たさないとき、前記積層体における、前記第1の板状部材と前記第1のベース部材とを分離する第3の工程と、 前記第2の工程で測定された、前記第1の板状部材における前記第1の表面の温度分布の測定結果に応じて、前記第1の板状部材と、前記第1の接合部と、前記第1のベース部材との少なくとも1つの構成を、第2の板状部材と、第2の接合部と、第2のベース部材とにそれぞれ変更する第4の工程と、 前記第1の板状部材または前記第2の板状部材の前記第2の表面と、前記第1のベース部材または前記第2のベース部材の前記第3の表面との間に、前記第1の接合部または前記第2の接合部を配置して、前記第1の接合部または前記第2の接合部を硬化させることにより、前記板状部材と前記ベース部材とを接合する前記接合部を作製する第5の工程と、を備える、 ことを特徴とする保持装置の製造方法。
IPC (1件)：
H01L 21/683
FI (2件)：
H01L21/68 N ,  H01L21/68 R
Fターム (16件)：
5F131AA02 ,  5F131BA04 ,  5F131BA19 ,  5F131CA03 ,  5F131CA32 ,  5F131CA68 ,  5F131EA03 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131EB15 ,  5F131EB26 ,  5F131EB72 ,  5F131EB78 ,  5F131EB79 ,  5F131EB81 ,  5F131EB85
引用特許：
出願人引用 (4件)
全件表示
審査官引用 (4件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM