特許
J-GLOBAL ID：202003004328798785
マスク及びマスクコンポーネント
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人YKI国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-568386
公開番号（公開出願番号）：特表2020-523478
出願日： 2018年08月30日
公開日（公表日）： 2020年08月06日
要約：
マスク及びマスクコンポーネントであって、マスク(100)は、マスク本体(10)とマスク本体に配置されて蒸着領域(12)と遮蔽部(14)とを含む少なくとも1つのサブマスク(101)と、を含み、蒸着領域には、サブマスクの厚さ方向にサブマスクを貫通する第1の蒸着孔(122)が設けられており、遮蔽部は、区切領域(144)とディスプレイスクリーンの異形領域に対応するダミー領域(142)とを含み、区切領域は、ダミー領域と蒸着領域との間に位置し、ダミー領域には、サブマスクの厚さ方向にサブマスクを貫通する第2の蒸着孔(1422)が設けられており、および/またはダミー領域には、少なくとも1つの第1の溝(1421)が設けられており、第1の溝の深さはサブマスクの厚さより小さい。これにより、遮蔽部の応力集中が低減され、マスク本体は、引っ張る際に均一的な応力がかかり、引っ張る際にマスク本体のしわ現象が減少される。
請求項（抜粋）：
蒸着源に対向するように配置される蒸着面と蒸着源の反対側に配置されるガラス面を備えるマスク本体と、
前記マスク本体に配置され蒸着領域と遮蔽部を含む少なくとも1つのサブマスクと、を含み、
前記蒸着領域には、前記サブマスクの厚さ方向に前記サブマスクを貫通する第1の蒸着孔が設けられており、前記遮蔽部は、区切領域とディスプレイスクリーンの異形領域に対応するダミー領域とを含み、前記区切領域は、前記ダミー領域と前記蒸着領域との間に位置し、前記ダミー領域に前記サブマスクの厚さ方向に前記サブマスクを貫通する第2の蒸着孔が設けられており、および/または前記ダミー領域に少なくとも1つの第1の溝が設けられており、前記第1の溝の深さは前記サブマスクの厚さより小さいことを特徴とするマスク。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/04 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC35
, 3K107FF15
, 3K107GG33
, 4K029CA01
, 4K029HA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
