特許
J-GLOBAL ID：202003004515206484

重合体及びポジ型レジスト組成物

発明者：
星野 学

星野 学 について


出願人/特許権者：
日本ゼオン株式会社

日本ゼオン株式会社 について


代理人 (4件)： 杉村 憲司 ,  杉村 光嗣 ,  寺嶋 勇太 ,  結城 仁美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-219461
公開番号（公開出願番号）：特開2020-084007
出願日： 2018年11月22日
公開日（公表日）： 2020年06月04日
要約：
【課題】主鎖切断型のポジ型レジストとして使用した際に、解像度及び明瞭性の充分に高いレジストパターンを形成することができる、重合体の提供。【解決手段】一般式(I)で表される単量体単位(A)と、一般式(II)で表される単量体単位(B)と、を有する、重合体。〔式(I)中、R1は、フッ素原子の数が4の有機基である。〕【選択図】なし
請求項（抜粋）：
下記一般式(I):
IPC (3件)：
C08F 220/22 ,  C08F 212/04 ,  G03F 7/039
FI (3件)：
C08F220/22 ,  C08F212/04 ,  G03F7/039 501
Fターム (24件)：
2H225AM14P ,  2H225AM30P ,  2H225AM99P ,  2H225AN59P ,  2H225CA12 ,  2H225CB18 ,  2H225CC03 ,  2H225CC20 ,  2H225CD05 ,  2H225EA01P ,  4J100AB03Q ,  4J100AB07Q ,  4J100AB10Q ,  4J100AL26P ,  4J100AL75P ,  4J100BA02P ,  4J100BA02Q ,  4J100BB07Q ,  4J100BB17P ,  4J100BB18Q ,  4J100CA04 ,  4J100FA03 ,  4J100FA19 ,  4J100JA38
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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