特許
J-GLOBAL ID:202003004603893220
顕微鏡及び顕微法
発明者:
,
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
福田 充広
, 吉田 裕美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-199590
公開番号(公開出願番号):特開2020-067538
出願日: 2018年10月23日
公開日(公表日): 2020年04月30日
要約:
【課題】コヒーレント結像によって高解像ながら高い信頼性で対象像を取得することができる顕微鏡及び顕微法を提供する。【解決手段】顕微鏡100は、コヒーレント光源10と、コヒーレント光源10から構造照明用の光L21,L22を分岐して略対称的な一対の斜め方向から試料面88aの試料位置に照射する構造照明部20と、試料面88aの試料位置から射出された散乱光LO1の分布を対物レンズ45を介して検出する光検出部60と、コヒーレント光源10から参照用の光L3を分岐して光検出部60の検出面DSに照射することによって一様な電場シフトを与える参照光照射部30と、コヒーレント光源10から通常照明用の光L4を分岐して対物レンズ45越しに試料面88aの試料位置に照射する基本光照射部40と、を備える。【選択図】図1
請求項(抜粋):
コヒーレント光源と、
前記コヒーレント光源から構造照明用の光を分岐して略対称的な一対の斜め方向から試料位置に照射する構造照明部と、
前記試料位置から射出された散乱光の分布を対物レンズを介して検出する光検出部と、
前記コヒーレント光源から参照用の光を分岐して前記光検出部の検出面に照射することによって一様な電場シフトを与える参照光照射部と、
を備える顕微鏡。
IPC (4件):
G02B 21/06
, G01N 21/45
, G01N 21/17
, G02B 21/36
FI (4件):
G02B21/06
, G01N21/45 A
, G01N21/17 A
, G02B21/36
Fターム (24件):
2G059AA05
, 2G059CC16
, 2G059EE02
, 2G059EE05
, 2G059EE09
, 2G059FF03
, 2G059GG01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ19
, 2G059JJ22
, 2G059JJ23
, 2G059KK04
, 2G059LL01
, 2G059MM01
, 2H052AA04
, 2H052AC04
, 2H052AC09
, 2H052AC34
, 2H052AD34
, 2H052AF02
, 2H052AF14
, 2H052AF21
, 2H052AF25
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