特許
J-GLOBAL ID：202003004959414326
追尾式レーザ干渉計による位置決め機械の検査方法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
高矢 諭
, 松山 圭佑
, 藤田 崇
, 須藤 修三
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-153262
公開番号（公開出願番号）：特開2018-021831
特許番号：特許第6747151号
出願日： 2016年08月03日
公開日（公表日）： 2018年02月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 レーザビームを用いてレトロリフレクタに追随する追尾式レーザ干渉計により位置決め機械を検査するための方法であって、
前記位置決め機械に前記レトロリフレクタを取り付けるステップと、
前記位置決め機械の作業空間で位置決めされた前記追尾式レーザ干渉計の回転中心Mの位置ベクトルrMを判定するステップと、
前記追尾式レーザ干渉計の前記回転中心Mを通って延びる、1つの直線gkの近傍に位置する、少なくとも2つの位置piに前記レトロリフレクタを位置決めし、該レトロリフレクタの各位置ベクトルpiを、前記位置決め機械により検出するステップと、
前記追尾式レーザ干渉計を用いて、少なくとも2つの前記位置piからそれぞれ前記回転中心Mまでの距離di,Lをそれぞれ測定し、前記少なくとも2つの距離di,Lの差から、少なくとも1つの距離差Δdij,Lを算出するステップと、
前記レトロリフレクタの各位置ベクトルpiを、前記回転中心Mを原点とした位置ベクトルp’iに座標変換するステップと、
少なくとも2つの前記位置ベクトルp’iを前記直線gkの単位方向ベクトルgkに正射影した距離di,Cを計算するステップと、
少なくとも2つの前記距離di,Cから少なくとも1つの距離差Δdij,Cを算出するステップと、
前記追尾式レーザ干渉計によって測定された少なくとも1つの前記距離差Δdij,Lを、前記位置決め機械によって測定された少なくとも1つの距離差Δdij,Cと比較するステップと、
を有することを特徴とする追尾式レーザ干渉計による位置決め機械の検査方法。
IPC (2件)：
G01B 11/00 ( 200 6.01)
, G01B 5/00 ( 200 6.01)
G01B 11/00 A
, G01B 5/00 Z
