特許

J-GLOBAL ID：202003005054846806

水素含有カーボン膜

発明者： 滝川 浩史 ,  出貝 敏 ,  杉江 侑哉 ,  針谷 達 ,  谷本 壮 ,  権田 英修 ,  羽生 博之 ,  神谷 雅男 ,  瀧 真
出願人/特許権者： 国立大学法人豊橋技術科学大学 ,  オーエスジー株式会社 ,  伊藤光学工業株式会社 ,  株式会社オンワード技研
代理人 (2件)： 三木 久巳 ,  大上 雅史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2019-026972
公開番号（公開出願番号）：特開2020-132466
出願日： 2019年02月18日
公開日（公表日）： 2020年08月31日
要約：

【課題】高耐熱性で加工面が高品位な、難削材加工用の切削工具のカーボン保護膜を提供すること。耐熱性の高い、物品の保護膜又は自立膜を提供すること。【解決手段】 真空中で加熱した際の水素ガス脱離の開始温度が800°C以上である水素含有カーボン膜である。本カーボン膜は、水素を含有するので低摩擦性、低攻撃性、及び平坦性を具備しつつ、高耐熱性ゆえ、切削箇所が局所的に高温になっても水素ガス脱離に伴うグラファイト化や軟質化を起こしにくく比較的高い硬度を維持できるので、切削工具、特にダイヤモンド膜で被覆した切削工具の保護膜に用いれば、CFRP等の難削複合材に対してもバリの発生が少なく高品位な加工面を実現できる。本カーボン膜は、レンズの成形用金型等の金型の表面を被覆する高耐熱性の離型膜や、基材から分離された高耐熱性の自立膜などの用途にも好適に利用することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

基材の表面の少なくとも一部を保護し、 炭素を主成分とし、5at.%以上の水素を含有し、sp2混成軌道成分を有する炭素とsp3混成軌道成分を有する炭素とを併せもち、 真空中で加熱したときに、含有される水素の脱離が800°C以上で生じることを特徴とするカーボン膜。

IPC (4件)：

C01B 32/00 ,  B23B 51/00 ,  B23B 27/14 ,  C23C 14/06

FI (4件)：

C01B32/00 ,  B23B51/00 J ,  B23B27/14 A ,  C23C14/06 F

Fターム (33件)：

3C037CC01 ,  3C037CC04 ,  3C046FF09 ,  3C046FF12 ,  3C046FF19 ,  4G146AA01 ,  4G146AA04 ,  4G146AB07 ,  4G146AC15A ,  4G146AC16A ,  4G146AC22A ,  4G146AC27A ,  4G146AC30A ,  4G146AD17 ,  4G146CB19 ,  4G146CB22 ,  4G146CB32 ,  4K029AA02 ,  4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BC02 ,  4K029BC07 ,  4K029BD04 ,  4K029BD05 ,  4K029BD06 ,  4K029CA02 ,  4K029CA13 ,  4K029DA05 ,  4K029DA08 ,  4K029DB02 ,  4K029DD06 ,  4K029JA03