特許
J-GLOBAL ID：202003006130988743
電子顕微鏡およびそれを用いた試料観察方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-140161
公開番号（公開出願番号）：特開2020-017424
出願日： 2018年07月26日
公開日（公表日）： 2020年01月30日
要約：
【課題】ローレンツ法が有していた欠点を回避し、弱散乱体や位相物体をインフォーカス、かつ高い分解能で、さらに方位依存の無い観察法を提供する。【解決手段】光軸2に対して所定の傾斜角を持つ入射電子線を、光軸中心の全方位に渡って周回照明するホロコーン照明を用いてフーコー法観察を実現するため、試料3よりも電子線の下流側の開口絞り56の位置(高さ)に電子波を収束させ、試料の直接の透過波が開口絞りをそのまま通過する明視野条件、透過波が開口絞りにより遮蔽される暗視野条件、これら両条件の境界条件として、透過電子波のほぼ半分が遮蔽されるシュリーレン条件を、入射電子線の傾斜角度で制御するとともに、複数の開口絞りの孔径や形状を選択することにより観察像の空間分解能を選択・制御する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
電子線の光源と、
前記光源から放出される前記電子線を試料に照射するための少なくとも2つの電子レンズから構成される照射レンズ系と、
前記電子線が照射する試料を保持するための試料保持装置と、
前記試料の像を結像するための対物レンズ系と、
前記試料保持装置の前記電子線の進行方向下流側に配される絞り装置と、
前記絞り装置の前記電子線の進行方向下流側に配される結像レンズ系と、
前記結像レンズ系による前記試料の像あるいは前記電子線の光源の像、すなわち前記試料の回折パターンを観察する観察面と、
前記試料の像あるいは前記試料の回折パターンを記録するための記録装置と、
前記電子線の光源と前記試料保持装置との間に配される少なくとも2段の電子線偏向器と、
を備え、
前記絞り装置の開口絞りの面に前記電子線の光源の像を結像させるとともに、
前記2段の電子線偏向器のそれぞれの段の偏向作用を調整することによって前記試料への照射角度を所定の範囲に入れながら、前記試料への前記電子線の照射が光軸を中心とした全方位角を回る、
ことを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (6件)：
H01J 37/26
, H01J 37/09
, H01J 37/20
, H01J 37/141
, H01J 37/12
, G01N 23/201
H01J37/26
, H01J37/09 A
, H01J37/20 F
, H01J37/141
, H01J37/12
, G01N23/201
2G001AA03
, 2G001BA14
, 2G001CA03
, 2G001DA09
, 2G001GA06
, 2G001GA10
, 2G001GA13
, 2G001HA13
, 2G001JA03
, 2G001KA12
, 2G001LA02
, 2G001SA01
, 5C001BB05
, 5C001CC01
, 5C033BB02
, 5C033CC06
, 5C033SS01
, 5C033SS02
, 5C033SS03
, 5C033SS04
, 5C033SS06
, 5C033SS10
