電子顕微鏡装置及び電子顕微鏡による試料像再生方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-077863
公開番号（公開出願番号）：特開平10-275580
出願日： 1997年03月28日
公開日（公表日）： 1998年10月13日
要約：

【要約】【課題】球面収差が完全に除去され、しかも解像度が一層改良された電子顕微鏡装置及び電子顕微鏡による試料像再生方法を実現する。【解決手段】本発明では、能動変調型結像方式にホローコーン照射を併用して収差補正及び解像度の改善を行なう。このため、本発明では、電子ビームを発生する電子銃(11)と、発生した電子ビームを観察すべき試料に対してホローコーン照射する手段(14)と、ホローコーン照射する際、照射ビームに照射電子量の重み付けを与える手段(23)と、試料で散乱した電子ビームを結像して試料像を形成する対物レンズ(16)と、対物レンズのフォーカスを変化させる手段と、試料像を撮像する撮像装置(20)とを具え、デフォーカス量と重み付け量との関係を規定する重み付け関数にしたがって照射電子ビームに重み付けを与えながらデフォーカス画像を撮像し、撮像された画像情報を演算処理して試料像を形成する。

請求項（抜粋）：

電子ビームを発生する電子銃と、発生した電子ビームを観察すべき試料に対してホローコーン照射する手段と、試料で散乱した電子ビームを結像して試料像を形成する対物レンズと、ホローコーン照射する際、対物レンズのフォーカスを順次変化させる手段と、対物レンズのフォーカスの変化に応じて順次試料像を撮像する撮像装置と、デフォーカス量と重み付け量との関係を規定した重み付け関数を用い、一連のフォーカス状態の試料像について重み付け関数に応じて重み付け因子を乗算する手段と、重み付けされた複数の画像を加算して加重積算された試料像を形成する手段とを具えることを特徴とする電子顕微鏡装置。

IPC (2件)：

H01J 37/153 , H01J 37/22 501

FI (2件)：

H01J 37/153 A , H01J 37/22 501 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭60-105149
粒子-光学装置の物体像形成方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-209829 出願人：フィリップスエレクトロニクスネムローゼフェンノートシャップ
特開平4-233150

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