特許
J-GLOBAL ID:202003006330307902
クリーンルームシステム
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
宮地 正浩
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-204151
公開番号(公開出願番号):特開2020-070955
出願日: 2018年10月30日
公開日(公表日): 2020年05月07日
要約:
【課題】特殊な漏気防止対策を施すことなく、クリーンルーム内への汚染空気の流入を防止すること。【解決手段】区画部4にて区画された区画空間5には、その区画部4の内周部とクリーンルーム3の外周部との間に免震クリアランス空間6を形成させる状態で、免震装置2を介して支持されたクリーンルーム3が備えられ、清浄化した清浄空気をクリーンルーム3及び免震クリアランス空間6に供給する清浄空気供給部9と、クリーンルーム3及び免震クリアランス空間6から外部に排気する排気部10とが備えられている。【選択図】図1
請求項(抜粋):
区画部にて区画された区画空間には、その区画部の内周部とクリーンルームの外周部との間に免震クリアランス空間を形成させる状態で、免震装置を介して支持されたクリーンルームが備えられ、
清浄化した清浄空気を前記クリーンルーム及び前記免震クリアランス空間に供給する清浄空気供給部と、
前記クリーンルーム及び前記免震クリアランス空間から外部に排気する排気部とが備えられているクリーンルームシステム。
IPC (4件):
F24F 7/06
, E04H 9/02
, E04H 5/02
, F24F 7/007
FI (5件):
F24F7/06 C
, E04H9/02 331A
, E04H9/02 331E
, E04H5/02 B
, F24F7/007 B
Fターム (8件):
2E139AA01
, 2E139AC12
, 2E139CA02
, 2E139CA21
, 2E139CB18
, 3L056BF04
, 3L058BG03
, 3L058BG04
引用特許:
出願人引用 (7件)
-
クリーンルームを備えた建物の構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-094165
出願人:株式会社熊谷組
-
免震室
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-090262
出願人:三菱製鋼株式会社, 清水建設株式会社
-
特開平1-118046
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審査官引用 (7件)
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クリーンルームを備えた建物の構造
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-094165
出願人:株式会社熊谷組
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免震室
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-090262
出願人:三菱製鋼株式会社, 清水建設株式会社
-
特開平1-118046
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