特許

J-GLOBAL ID：202003006799550123

三次元座標測定器

発明者： 二見 空
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (2件)： 平井 正司 ,  神津 堯子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-089954
公開番号（公開出願番号）：特開2017-198562
特許番号：特許第6722502号
出願日： 2016年04月27日
公開日（公表日）： 2017年11月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 測定対象物を載置するためのテーブルであって、並進移動及び/又は所定の軸を中心に回転可能なテーブルと、 該テーブルの上の測定対象物の測定位置を指示することのできるプローブと、 該プローブの位置及び姿勢を特定するためのプローブ位置及び姿勢特定手段と、 前記テーブルに対して、該テーブルの変位方向に外力が加わったときに、該外力に対して予め設定された一定の抵抗力を生成する変位抵抗機構部品と、 前記テーブルの原位置から変位量を特定するテーブル変位特定手段と、 前記プローブ位置及び姿勢特定手段が検出した前記プローブの位置及び姿勢と、前記テーブル変位特定手段が検出した前記テーブルの変位量とに基づいて、前記プローブが指示する位置の相対位置座標を求める相対位置座標演算手段とを有する三次元座標測定器。

IPC (2件)：

G01B 21/00 ( 200 6.01) ,  G01B 5/00 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01B 21/00 L ,  G01B 5/00 L

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開昭59-065702
  
• 光学式座標測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-086471   出願人：株式会社キーエンス
• 位置姿勢計測方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-138468   出願人：キヤノン株式会社
• 回転ステージ保持装置および回転ステージの保持方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-071654   出願人：株式会社リコー
• 作業位置を特定するためのシステム、作業セル、方法、製品の製造方法、およびマーカ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2007-014338   出願人：富士通株式会社