特許

J-GLOBAL ID：202003006803430790

計測装置

発明者： 道畑 正岐 ,  高橋 哲
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学
代理人 (2件)： 福田 充広 ,  吉田 裕美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-179727
公開番号（公開出願番号）：特開2020-051823
出願日： 2018年09月26日
公開日（公表日）： 2020年04月02日
要約：

【課題】測定対象への影響がなく、簡易かつ迅速な計測を可能にし、光ファイバその他の微小な計測対象についてサイズを正確に計測できる計測装置を提供すること。【解決手段】計測装置100は、円柱状の計測対象WOの中心軸SXを挟んで対向する方向から光を照射する光照射部10と、光が照射された計測対象WOの側面からの散乱光SLを検出する光検出部20と、光検出部20によって検出された散乱光SLの分布から計測対象WOのサイズを決定する情報処理部80とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

円柱状の計測対象の中心軸を挟んで対向する方向から光を照射する光照射部と、 光が照射された前記計測対象の側面からの散乱光を検出する光検出部と、 前記光検出部によって検出された前記散乱光の分布から前記計測対象のサイズを決定する情報処理部と を備える計測装置。

IPC (1件)：

G01B 11/08

FI (1件)：

G01B11/08 G

Fターム (20件)：

2F065AA26 ,  2F065BB12 ,  2F065BB22 ,  2F065CC23 ,  2F065DD06 ,  2F065FF52 ,  2F065GG04 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065LL02 ,  2F065LL03 ,  2F065LL04 ,  2F065MM03 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ29 ,  2F065UU01 ,  2F065UU02