光検出素子、光センサ、及び光検出素子の製造方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：片山修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-210630
公開番号（公開出願番号）：特開2020-077780
出願日： 2018年11月08日
公開日（公表日）： 2020年05月21日
要約：

【課題】高感度化を実現することが可能な光検出素子、光センサ、及び光検出素子の製造方法を提供すること。【解決手段】基板22と、基板22の上に形成され、グラフェン11と、光を透過する絶縁性のスペーサ層17とが交互に複数積層された受光層23と、受光層23に接する第1の電極25と、受光層23に接し、第1の電極25とは材料が異なる第2の電極26とを有する光検出素子による。【選択図】図9

請求項（抜粋）：

基板と、前記基板の上に形成され、グラフェンと、光を透過する絶縁性のスペーサ層とが交互に複数積層された受光層と、前記受光層に接する第1の電極と、前記受光層に接し、前記第1の電極とは材料が異なる第2の電極と、を有することを特徴とする光検出素子。

IPC (5件)：

H01L 27/146 , H01L 27/144 , H01L 27/30 , B82Y 20/00 , G01J 1/02

FI (6件)：

H01L27/146 E , H01L27/144 K , H01L27/146 F , H01L27/30 , B82Y20/00 , G01J1/02 C

Fターム (29件)：

2G065AA04 , 2G065AB02 , 2G065BA11 , 2G065BA14 , 2G065BA34 , 2G065BB25 , 2G065BC02 , 2G065BC03 , 2G065BC28 , 2G065BE08 , 2G065DA18 , 4M118AA01 , 4M118AB01 , 4M118BA07 , 4M118BA19 , 4M118CA15 , 4M118CA17 , 4M118CA21 , 4M118CB01 , 4M118CB13 , 4M118CB14 , 4M118CB20 , 4M118DD10 , 4M118EA01 , 4M118EA14 , 4M118FA06 , 4M118GA10 , 4M118HA22 , 4M118HA31

引用特許：

出願人引用 (5件)

光電変換素子、太陽電池及び光センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-183372 出願人：国立大学法人筑波大学
電子装置及び電子装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-002400 出願人：富士通株式会社
電子装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-037900 出願人：株式会社デンソー

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審査官引用 (5件)

光電変換素子、太陽電池及び光センサー
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-183372 出願人：国立大学法人筑波大学
電子装置及び電子装置の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2015-002400 出願人：富士通株式会社
電子装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2016-037900 出願人：株式会社デンソー

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引用文献：

出願人引用 (2件)

Antenna Enhanced Graphene THz Emitter and Detector
One-Dimensional Electrical Contact to a Two-Dimensional Material

審査官引用 (2件)

Antenna Enhanced Graphene THz Emitter and Detector
One-Dimensional Electrical Contact to a Two-Dimensional Material

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