特許
J-GLOBAL ID：201703005292591730
電子装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-037900
公開番号（公開出願番号）：特開2017-157630
出願日： 2016年02月29日
公開日（公表日）： 2017年09月07日
要約：
【課題】グラフェン膜が絶縁膜から剥離することを抑制できる電子装置を提供する。【解決手段】グラフェン膜4に、基板2、絶縁膜3、グラフェン膜4の積層方向に、孔部7を形成し、孔部7に、グラフェン膜4より絶縁膜3との密着性が高い材料で構成された剥離防止部6を配置する。また、剥離防止部6を、孔部7から露出する絶縁膜3と密着する状態で当該孔部7に配置される本体部6aと、本体部6aと一体化され、グラフェン膜4の一面4aと接触するフランジ部6bと、を有する構成とする。そして、絶縁膜3とフランジ部6bとによってグラフェン膜4を挟み込む。これによれば、グラフェン膜4が絶縁膜3とフランジ部6bとによって挟み込まれるため、グラフェン膜4が絶縁膜3から剥離することを抑制できる。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
一面(2a)を有する基板(2)と、
前記基板の一面上に配置された絶縁膜(3)と、
前記絶縁膜上に配置されたグラフェン膜(4)と、を備え、
前記グラフェン膜のうちの前記絶縁膜側と反対側の一面(4a)上に配置された一対の電極(5a、5b)の間に電流経路が構成される電子装置において、
前記グラフェン膜には、前記基板、前記絶縁膜、前記グラフェン膜の積層方向に、前記絶縁膜を露出させる孔部(7)が形成され、
前記孔部には、前記グラフェン膜より前記絶縁膜との密着性が高い材料で構成された剥離防止部(6)が配置されており、
前記剥離防止部は、前記孔部から露出する前記絶縁膜と密着する状態で当該孔部に配置される本体部(6a)と、前記本体部と一体化され、前記グラフェン膜の一面と接触するフランジ部(6b)と、を有し、
前記グラフェン膜は、前記絶縁膜と前記フランジ部とによって挟み込まれている電子装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/28 301B
, C23C28/00 B
4K044AA11
, 4K044BA02
, 4K044BA06
, 4K044BA14
, 4K044BA18
, 4K044BB03
, 4K044BB04
, 4K044BC05
, 4K044CA13
, 4M104AA09
, 4M104AA10
, 4M104BB05
, 4M104CC01
, 4M104HH09
