特許
J-GLOBAL ID：202003007278214328

マスフローコントローラ

発明者：
村田 卓郎

村田 卓郎 について

, 
中村 剛

中村 剛 について


出願人/特許権者：
株式会社フジキン

株式会社フジキン について


代理人 (1件)： 藤本 健司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-245026
公開番号（公開出願番号）：特開2020-107061
出願日： 2018年12月27日
公開日（公表日）： 2020年07月09日
要約：
【課題】両側の圧力差が低く、センサ流路の流量が小さい場合でもセンサ信号のS/N比を向上できるMFCを提供する。【手段】流体が通過する流体流路11と、流体流路を通過する流体の質量流量を測定する複数の流量センサユニット20A,20Bと、流体流路を通過する流体の流量を調整する調整バルブ4と、調整バルブの開度を制御する制御部3と、を有する、マスフローコントローラであって、流体流路11は、その一部を構成するバイパス流路10aを有し、各流量センサユニット20A,20Bは、前記バイパス流路と並列に設けられたセンサ流路22を有する熱式流量センサユニットであり、前記制御部3は、前記複数の流量センサユニット20A,20Bの出力信号を加算した加算出力信号から質量流量を算出して、該質量流量が所定値になるように前記調整バルブ4の開度を制御する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
流体が通過する流体流路と、 前記流体流路を通過する流体の質量流量を測定する複数の流量センサユニットと、 前記流体流路を通過する流体の流量を調整する調整バルブと、 前記流量センサユニットで測定された流体の質量流量が所定値になるように前記調整バルブの開度を制御する制御部と、 を有する、マスフローコントローラであって、 前記流体流路は、その一部を構成するバイパス流路を有し、 各前記流量センサユニットは、前記バイパス流路の一次側で分岐して、該バイパス流路の二次側で前記流体流路に戻るセンサ流路と、該センサ流路の途中の上流側と下流側にそれぞれ設けられた発熱抵抗体と、信号出力部とを有し、該上流側と下流側の発熱抵抗体の、通電した際の抵抗値の差に比例する信号を出力し、 前記制御部は、前記複数の流量センサユニットの出力信号を加算した加算出力信号から質量流量を算出して、該質量流量が所定値になるように前記調整バルブの開度を制御する ことを特徴とする、マスフローコントローラ。
IPC (1件)：
G05D 7/06
FI (1件)：
G05D7/06 Z
Fターム (7件)：
5H307AA02 ,  5H307BB01 ,  5H307DD01 ,  5H307EE02 ,  5H307FF06 ,  5H307FF15 ,  5H307HH12
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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