特許
J-GLOBAL ID：202003007545213603

成膜用材料

発明者：
佐藤 龍一

佐藤 龍一 について

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深川 直樹

深川 直樹 について

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重吉 勇二

重吉 勇二 について

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松倉 賢人

松倉 賢人 について


出願人/特許権者：
日本イットリウム株式会社

日本イットリウム株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人翔和国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-558926
特許番号：特許第6742341号
出願日： 2016年12月15日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 YO0.8F1.4で表されるイットリウムのオキシフッ化物及びYF3を含み、 XRD測定におけるYO0.8F1.4のメインピークの高さI1に対する、YF3の(020)面のピーク高さI2の比であるI2/I1の値が0.01以上3以下であり、平均粒子径が0.1μm以上3μm以下である成膜用材料。
IPC (3件)：
C23C 4/04 ( 200 6.01) ,  C23C 24/04 ( 200 6.01) ,  C23C 14/24 ( 200 6.01)
FI (3件)：
C23C 4/04 ,  C23C 24/04 ,  C23C 14/24 E
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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