特許
J-GLOBAL ID：201703011401475133

フッ化イットリウム溶射材料及びオキシフッ化イットリウム成膜部品並びにそれらの製造方法

発明者：
高井 康

高井 康 について

, 
濱谷 典明

濱谷 典明 について


出願人/特許権者：
信越化学工業株式会社

信越化学工業株式会社 について


代理人 (1件)： 特許業務法人英明国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-203613
公開番号（公開出願番号）：特開2017-082325
出願日： 2016年10月17日
公開日（公表日）： 2017年05月18日
要約：
【解決手段】Y5O4F7とYF3とを含み、Y5O4F7とYF3とが、Y5O4F7が30〜90質量%、残分がYF3であり、平均粒径が10μm以上60μm以下で、嵩密度が1.2g/cm3以上2.5g/cm3以下であるフッ化イットリウム溶射材料、及び基材にYOF、Y5O4F7及びY7O6F9から選ばれる少なくとも1種のオキシフッ化イットリウムを含む溶射膜が積層されてなるオキシフッ化イットリウム成膜部品。【効果】本発明のフッ化イットリウム溶射材料は、大気中プラズマ溶射したとき、オキシフッ化イットリウム溶射膜を得ることができる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
Y5O4F7とYF3とを含み、Y5O4F7とYF3とが、Y5O4F7が30〜90質量%、残分がYF3であり、平均粒径が10μm以上60μm以下で、嵩密度が1.2g/cm3以上2.5g/cm3以下であることを特徴とするフッ化イットリウム溶射材料。
IPC (4件)：
C23C 4/10 ,  H01L 21/306 ,  C01F 17/00 ,  C23C 4/134
FI (5件)：
C23C4/10 ,  H01L21/302 101G ,  C01F17/00 A ,  C01F17/00 D ,  C23C4/134
Fターム (23件)：
4G076AA02 ,  4G076AA05 ,  4G076BA03 ,  4G076BC10 ,  4G076BD10 ,  4G076BF02 ,  4G076BG04 ,  4G076BH01 ,  4G076CA10 ,  4G076DA14 ,  4K031AA08 ,  4K031AB02 ,  4K031CB01 ,  4K031CB10 ,  4K031CB50 ,  4K031DA04 ,  5F004AA16 ,  5F004BB29 ,  5F004DA00 ,  5F004DA01 ,  5F004DA16 ,  5F004DA18 ,  5F004DA20
引用特許：
出願人引用 (4件)
  • 溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-043939   出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社フジミインコーポレーテッド
  • 溶射材料
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-265127   出願人：日本イットリウム株式会社
  • 溶射材料
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-007751   出願人：日本イットリウム株式会社
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審査官引用 (4件)
  • 溶射材料及びその製造方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2012-144462   出願人：日本イットリウム株式会社
  • 溶射用材料、溶射皮膜および溶射皮膜付部材
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2016-043939   出願人：東京エレクトロン株式会社, 株式会社フジミインコーポレーテッド
  • 溶射材料
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2013-007751   出願人：日本イットリウム株式会社
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